一种光谱范围为9.2μm～9.6μm的宽截止长波红外窄带滤光片制造技术

本发明专利技术涉及一种光谱范围为９．２μｍ～９．６μｍ的宽截止长波红外窄带滤光片，属于表面技术领域。该滤光片的膜系结构如图，其中，λ↓［０］为中心波长，λ↓［０］＝６．６１μｍ，α和β分别表示各膜系中心波长与λ↓［０］的倍数，α＝１．２，β＝１．８６，Ｇｅ为基底，厚度为０．２～１０ｍｍ，表面平行度≤１％，Ｈ为高折射率材料ＰｂＴｅ，Ｌ为低折射率材料ＺｎＳ。本发明专利技术对９．２μｍ～９．６μｍ波长范围具有高透射率，并且在λ＜７．８μｍ和９．２μｍ＜λ＜２０μｍ的谱段，Ｔｒ≤１％；从而提高了光学遥感系统的信噪比。本发明专利技术制作的红外带通滤光片具有较宽的深度截止带。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光谱范围为9. 2|am 9. 6,的宽截止长波红外窄带滤光片， 属于表面

技术介绍
长波红外带通滤光片在空间光学遥感系统红外相机和多光谱成像仪中广泛 应用，主要用于对地成像观测和光谱分析监测；在我国新波段/谱段、新原理空 间光学遥感器技术发展规划中，也对长波红外光学薄膜器件提出了研发需求。空间光学遥感系统用长波红外带通滤光片，要求通带内平均透射率高、抑 制带截止深度深、波纹系数小、过渡特性好，可适应空间和地面环境条件，具 有高稳定性和高可靠性。由于长波红外带通滤光片空间应用的重要性和特殊要求，且其膜系结构和 镀制工艺复杂， 一直是红外光学薄膜研究的重点。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种光谱范围为9.2lam 9.6pm的宽截止长波红外 窄带滤光片，提高星载光学遥感系统的成像质量。 本专利技术的目的可通过以下技术措施实现-本专利技术的一种光谱范围为9.2pm 9.6,的宽截止长波红外窄带滤光片， 其完整膜系结构为 入"』7—//一(2 2其中，"为中心波长，入。=6.61,， a和刃分别表示各膜系中心波长与 入。的倍数，"=1.2，》=1.86，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光谱范围为９．２μｍ～９．６μｍ的宽截止长波红外窄带滤光片，其特征在于膜系结构为：　λ↓［０］（Ｌ／２　Ｈ　Ｌ／２）↑［７］α（Ｌ／２　Ｈ　Ｌ／２）↑［７］Ｌ｜Ｇｅ｜β（Ｈ／２　Ｌ　Ｈ／２）↑［９］　其中，λ↓［ ０］为中心波长，λ↓［０］＝６．６１μｍ，α和β分别表示各膜系中心波长与λ↓［０］的倍数，α＝１．２，β＝１．８６，Ｇｅ为基底，Ｈ为高折射率材料ＰｂＴｅ，Ｌ为低折射率材料ＺｎＳ。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王多书，叶自煜，刘宏开，陈焘，熊玉卿，王济洲，
申请(专利权)人：中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所，
类型：发明
国别省市：62[中国|甘肃]