波纹波导滤光器制造技术

波纹波导滤光器是一种平面波导器件，由铌酸锂晶体基底和带状波导构成，带状波导的两端由钛膜扩散在基底表面形成，中间部位有等间距分布的钛扩散条。当光波通过时，等间距钛扩散条形成一定规律的折射率周期性分布。它对某些波长的光能通过，而另一些波长的光被反射，具有一定波长的选择性，从而实现滤光的目的。具有结构简单，可作成平面波导器件等优点，适用于做光学集成器件。（*该技术在2003年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是一种由平面波导器件构成的波导滤光器，属于光电器件
现有的滤光器通常是采用多层薄膜形成折射率周期变化的薄膜型滤光器，其光谱特性是具有一个窄频率范围的反射带，在反射带的两侧为具有一定透射率的透射带，但这种滤光器不能做成平面固体波导器件，不能用作集成光学器件。本技术的目的在于针对现有技术的不足，提供一种光谱特性具有选择性的平面波导滤光器，它可用作集成光学器件。本技术由基底和波导组成，基底为铌酸锂(LiNbO3) 晶体，其特点是波导采用带状结构，带状波导的两端为钛扩散层，它由钛(Ti)膜在基底表面扩散形成，中间部位有等间距分布的钛扩散条，它由钛膜扩散在基底表面内形成。当光波通过波导时，等间距的钛扩散条形成一定规律(余误差分布)的折射率周期性分布，对某些波长的光能通过，而另一些波长的光被反射，具有一定波长的选择性，从而实现滤光的目的。本技术的钛膜厚度可为0.08～0.1μm，钛扩散条的长度(钛膜带的宽度)可为8～10μm，宽度可为4～5μm，间距可为5～6μm钛扩散条纹总数可为50～80条。通过选择不同的尺寸结构，可以选择不同波长的反射光波。本技术与现有技术相比，具有结构本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用作平面波导器件的波纹波导滤光器，由基底和波导组成，基底为铌酸锂晶体，其特征在于波导采用带状结构，带状波导的两端由钛扩散层构成，中间部位有等间距分布的钛扩散条构成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：庞叔鸣，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]