一种硅棒切片机的切割液冷却装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及冷却技术领域，具体是涉及一种硅棒切片机的切割液冷却装置，包括有：箱体，一侧从上到下依次设置有进料口、出液口和出杂口，箱体内部从上到下依次设置与进料口、出液口和出杂口连通且相互密封的引流室、冷却室和设备室；离心筛料器，工作端轴线竖直转动设置在出杂口内，且所述箱体工作端顶端与引流室连通；冷却液循环组件和螺旋冷却管，冷却液循环组件设置在设备室内，螺旋冷却管同轴固定设置在离心筛料器工作端外圈，所述螺旋冷却管输入输出端分别与冷却液循环组件输出输入端连通；出杂管，所述出杂管一端贯穿设备室顶端与离心筛料器工作端内部底端连通，且所述出杂管另一端与出液口连通，该装置能够快速分离混合液和冷却切割液。

A cooling device of cutting fluid for silicon rod slicer

【技术实现步骤摘要】
一种硅棒切片机的切割液冷却装置
本专利技术涉及冷却
，具体是涉及一种硅棒切片机的切割液冷却装置。
技术介绍
在如今的半导体行业，硅片切割是常见的生产环节。硅片切割过程中会用到切割液，但是在硅片切割过程中会产生大量热，导致切削后的切割液温度升高。因为硅片切割过程中对切割液的温度有严格要求，因此切割液必须进行冷却再循环利用。另外在切割过程中会有一些颗粒物等杂志进入切割液中，而现今的切割液冷却装置都是采用板式换热器，不仅冷却效果低而且不容易清理杂质，从而对产品质量造成影响。一般都是通过冷却水来对切割液进行换热降温，由于使用过后的切割液内或含有切割杂削，并且冷却水换热中，冷却水会与切割液接触不充分，冷却效果不佳，达不到预期效果。因此，专利技术一种硅棒切片机的切割液冷却装置来解决上述问题很有必要。中国专利CN201721658213.9公开了一种硅棒切片机的切割液冷却装置，包括箱体，所述箱体内设置有冷却间和设备间，所述冷却间设置于设备间顶端，所述冷却间和设备间之间设置有隔板，所述冷却间内设置有外盘冷却管，所述外盘冷却管内设置有内盘冷却管，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅棒切片机的切割液冷却装置，其特征在于，包括有：/n箱体（1），所述箱体（1）一侧从上到下依次设置有进料口（1a）、出液口（1b）和出杂口（1c），所述箱体（1）内部从上到下依次设置与进料口（1a）、出液口（1b）和出杂口（1c）连通且相互密封的引流室（1d）、冷却室（1e）和设备室（1f）；/n离心筛料器（2），所述离心筛料器（2）工作端轴线竖直转动设置在出杂口（1c）内，且所述箱体（1）工作端顶端与引流室（1d）连通；/n冷却液循环组件（3）和螺旋冷却管（4），所述冷却液循环组件（3）设置在设备室（1f）内，所述螺旋冷却管（4）同轴固定设置在离心筛料器（2）工作端外圈，所述螺旋冷却...

【技术特征摘要】
1.一种硅棒切片机的切割液冷却装置，其特征在于，包括有：
箱体（1），所述箱体（1）一侧从上到下依次设置有进料口（1a）、出液口（1b）和出杂口（1c），所述箱体（1）内部从上到下依次设置与进料口（1a）、出液口（1b）和出杂口（1c）连通且相互密封的引流室（1d）、冷却室（1e）和设备室（1f）；
离心筛料器（2），所述离心筛料器（2）工作端轴线竖直转动设置在出杂口（1c）内，且所述箱体（1）工作端顶端与引流室（1d）连通；
冷却液循环组件（3）和螺旋冷却管（4），所述冷却液循环组件（3）设置在设备室（1f）内，所述螺旋冷却管（4）同轴固定设置在离心筛料器（2）工作端外圈，所述螺旋冷却管（4）输入输出端分别与冷却液循环组件（3）输出输入端连通；
出杂管（5），所述出杂管（5）一端贯穿设备室（1f）顶端与离心筛料器（2）工作端内部底端连通，且所述出杂管（5）另一端与出液口（1b）连通。


2.根据权利要求1所述的一种硅棒切片机的切割液冷却装置，其特征在于，离心筛料器（2）包括有：
旋转筛筒（2a），所述旋转筛筒（2a）轴线竖直转动设置在冷却室（1e）中，所述旋转筛筒（2a）底端通过出杂管（5）与出杂口（1c）连通；
固定件（2b），所述固定件（2b）同轴固定设置在旋转筛筒（2a）内部且其输出轴竖...

【专利技术属性】
技术研发人员：王焯，
申请(专利权)人：王焯，
类型：发明
国别省市：浙江;33