【技术实现步骤摘要】
本技术是一种消偏振角锥棱镜,涉及光学镀膜技术。适用于光学精密测量仪器如双频激光干涉仪。现有的角锥棱镜,其三个背反射面镀有金属膜层,由于金属膜层的起偏作用,使反射光束光的偏振状态发生很大变化,这对于利用光偏振特性工作的光学测量仪器造成了工作精度降低,甚至不能工作的严重影响。本技术的目的在于提供一种不改变入射光束光偏振状态的立体角三面反射型光学元件——消偏振角锥棱镜。本技术的目的可以通过以下措施来达到,采用真空沉积技术在角锥棱镜三个背反射面上,镀有包括介质膜层和金属膜层的消偏振薄膜,消偏振薄膜的膜系设计结构和镀制顺序为角锥棱镜背反射面一介质膜层-金属膜层。本技术的目的还可以通过以下措施来到介质膜层采用折射率在1.6以上的介质材料,最好是Al2O3、ZnS、ZrO2、Y2O3、ZrO2+Y2O3、HfO2。金属膜层的材料为金铜、银、铝、铬等。消偏振薄膜的最佳材料和最佳膜系设计结构以及镀制顺序为角锥棱镜背反射面-ZrO2+Y2O3-Ag。金属膜层外面涂上一层保护黑柒。 附图说明图1为角锥棱镜入射面、背反射面结构示意图;图2为角锥棱镜消偏振薄膜膜系结构图;图3为现有角锥棱镜单一背反射面反射光偏振态的能量变化曲线图;图4为现有角锥棱镜单一背反射面反射光偏振态的相位变化曲线图;图5为本技术单一背反射面反射光偏振态的能量变化曲线图;图6为本技术单一背反射面反射光偏振态的相位变化曲线图;图7为本技术与现有角锥棱镜对光线偏振特性影响的比较示意图。本技术下面将结合附图作进一步说明由于在角锥棱镜中,光线几次反射的入射面不在同一平面上,利用光的干涉原理和金属膜层的高反射特性, ...
【技术保护点】
一种三个背反射面上镀有介质-金属膜层的角锥棱镜,其特征在于角锥棱镜的三个背反射面上,镀有包括介质和金属膜层的消偏振薄膜,消偏振薄膜的结构为:角锥棱镜背反射面-介质膜层-金属膜层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:郭永洪,张云洞,
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所,
类型:实用新型
国别省市:51[中国|四川]
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