【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光学扫描，具体地说是一种光学二维扫描测试装置。在现有技术中，采用光学二维扫描的关健部件是用两个相互垂直的镜子，分别由步进马达驱动，通过严格地装配和控制程序的设计，使两镜交替运动完成二维扫描，这种扫描装置的扫描速率一般比较慢，约为0.3Hz。其结构比较复杂，两块镜子必须经过严格的装配，精细的程序控制才能完成二维扫描。它也可以更快一些，但要以牺牲空间分辨率为基础，比如，扫描的三角波短些，扫描次数少些，但速率不会提高很多。为了克服上述不足，本技术提供一种轻型实用、结构简单、扫描速率可调的光学二维扫描测试装置。为了实现上述目的，本技术的技术方案是它由扫描镜、两块凹面全反镜、样品池、探头、信号线和马达组成，其中与马达连接的扫描镜安装在第一凹面全反镜的焦点位置上，所述探头安装在第二凹面全反镜的焦点位置上，所述探头的输出信号通过信号线连接到示波器上，所述两块凹面全反镜安装在样品池两侧，其特征在于所述扫描镜为柱面扫描镜，其面数n在3≤n≤40范围内；所述凹面全反镜的焦距f为1～3m。本技术具有如下优点本技术避免了通用的、两块镜子严格装配、精细控制交替运动的二维扫描转镜，结构简单，重量轻，实用性强，扫描速率大幅度地提高了，最大扫描速率可以达到100Hz，并且扫描速率可在大范围内连续调节，可从10Hz到100Hz。 附图说明图1为本技术结构示意图。图2为图1中二维柱面扫描镜立体结构示意图。以下结合附图对本技术的结构及工作原理作进一步详细说明。如图1、2所示，本技术由扫描镜1、两块凹面全反镜2、样品池3、探头4、信号线5和马达6组成，其中与马达(6)连接的扫描镜...
【技术保护点】
一种光学二维扫描测试装置，由扫描镜（１）、两块凹面全反镜（２）、样品池（３）、探头（４）、信号线（５）和马达（６）组成，其中与马达（６）连接的扫描镜（１）安装在第一凹面全反镜（２１）的焦点位置上，所述探头（４）安装在第二凹面全反镜（２２）的焦点位置上，所述探头（４）的输出信号通过信号线（５）连接到示波器上，所述两块凹面全反镜（２）安装在样品池（３）两侧，其特征在于：所述扫描镜（１）为柱面扫描镜，其面数ｎ在３≤ｎ≤４０范围内。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：多丽萍，韩新民，闵祥德，曲英丽，李国富，
申请(专利权)人：中国科学院大连化学物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：91[中国|大连]
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