扫描隧道显微镜功函数信息成像装置制造方法及图纸

技术编号:2687090 阅读:227 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及一种扫描隧道显微镜的功函数信息成像装置,包括带探针的扫描器、放大器、比例积分器、模数、数模转换器及计算机装置,其中加设一信号发生器和锁相放大器,其锁相放大器的一个输入端接至所述对数放大器A↓[2]的输出端,另一个输入端与信号发生器连接,其带有功函数信息的输出信号与模数转换器ADC相连,信号发生器输出端同时与高压放大器HA输入端连接。具有既能获得表面精细结构,也可测量表面元素功函数信息之优点。(*该技术在2009年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及扫描探针成像技术,是基于扫描隧道显微镜建立的功函数信息成像装置。在现有技术中,扫描隧道显微镜以其优越的分辨率能够获得样品表面纳米乃至原子尺度的分辨像,可对表面结构进行观察研究,但却不能标定样品表面元素种类及分布,然而根据隧道效应原理可知探针与样品之间的隧道电流不仅反映样品表面的结构,同时也包含了样品元素的功函数信息。为了克服上述不足,本技术的目的是基于扫描隧道显微镜采用对隧道电流的调制、解调、提取功函数信息等技术,建立了一种既能获得表面精细结构,也可测量表面元素功函数信息的扫描隧道显微镜功函数信息成像装置。为了实现上述目的,本技术的技术方案包括携带探针的扫描器、放大器、比例积分器、数模、模数转换器以及计算机装置,其中样品接地,前置放大器A1同相端连至隧道偏压Vb正端,其异相端连接来自探针针尖的电流信号,其输出端信号一路与参考电流Ir经误差信号放大器A3接至比例积分器;另一路接对数放大器A2,隧道偏压Vb负端与样品共地,高压放大器HA的输入端接比例积分器,输出端接至扫描器的Z臂,所述扫描器的X、Y臂输出信号来自计算机装置的扫描控制端数模转换DAC,比例积分器输出端接模数本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描隧道显微镜的功函数信息成像装置,包括携带探针的扫描器、放大器、比例积分器、数模、模数转换器以及计算机装置,其中样品接地,前置放大器A↓[1]同相端连至隧道偏压V↓[b]正端,其异相端连接来自探针针尖的电流信号,其输出端信号一路与参考电流Ir经误差信号放大器A↓[3]接至比例积分器;另一路接对数放大器A2,隧道偏压V↓[b]负端与样品共地,高压放大器HA的输入端接比例积分器,输出端接至扫描器的Z臂,所述扫描器的X、Y臂输出信号来自计算机装置的扫描控制端数模转换DAC,比例积分器输出端接模数转换器ADC至计算机装置的采集控制端,其特征在于:在对数放大器A↓[2]后设一锁相放大器,高压放大器...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:谢天生范兆忠赵玉清叶恒强
申请(专利权)人:中国科学院金属研究所
类型:实用新型
国别省市:89[中国|沈阳]

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