【技术实现步骤摘要】
一种线性蒸发源
本技术涉及真空蒸镀
，尤其涉及一种线性蒸发源。
技术介绍
真空镀膜是在真空环境中，对蒸镀材料进行加热使其蒸发，从而使其在镀膜对象表面沉积形成薄膜，目前常用的真空镀膜方法主要包括真空蒸镀、分子束沉积和离子电镀。其中，真空镀膜方法中加热蒸镀材料的方法又包括比如电阻加热、电子束加热、激光束加热等方法。现有的蒸发源主要是在蒸发槽中放置多个小型蒸发坩埚，其缺点有:一是多个小型蒸发坩埚的布置容易导致蒸发的金属微粒不均匀，从而使镀膜厚度不一致；二是加热部件不均匀的放置在坩埚的下方或者是其他位置来提供加热源，导致蒸发装置局部受热不均匀，容易激发出高温金属微粒团而将镀膜击穿。以上问题，有待解决。
技术实现思路
为了克服现有的技术的不足，本技术提供一种线性蒸发源。本技术技术方案如下所述：一种线性蒸发源，其特征在于，包括长槽形坩埚以及均匀绕设于所述长槽形坩埚四周外壁的加热部件，所述长槽形坩埚内设有金属蒸镀材料的容置腔，所述加热部件与电源连接。根据上述方案的本技术，其特征在于，所述长槽形坩埚呈倒梯形结构，所述容置腔呈倒梯形结构。根据上述方案的本技术，其特征在于，所述长槽形坩埚的材料为耐高温材料。根据上述方案的本技术，其特征在于，所述加热部件为发热盘管或发热丝。根据上述方案的本技术，其特征在于，所述长槽形坩埚的长度为120cm-140cm。根据上述方案的本技术，其特征在于，所述长槽形坩埚的上底边的宽度为30cm-50cm。根据上述...
【技术保护点】
1.一种线性蒸发源，其特征在于，包括长槽形坩埚以及均匀绕设于所述长槽形坩埚四周外壁的加热部件，所述长槽形坩埚内设有放置金属蒸镀材料的容置腔，所述加热部件与电源连接。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种线性蒸发源，其特征在于，包括长槽形坩埚以及均匀绕设于所述长槽形坩埚四周外壁的加热部件，所述长槽形坩埚内设有放置金属蒸镀材料的容置腔，所述加热部件与电源连接。
2.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，所述长槽形坩埚呈倒梯形结构，所述容置腔呈倒梯形结构。
3.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，所述长槽形坩埚的材料为耐高温材料。
4.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，所述加热部件为发热盘管或发热丝。
5.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，所述长槽形坩埚的长度为120cm-140cm。
技术研发人员：臧世伟，刘文卿，
申请(专利权)人：重庆金美新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆;50
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