光纤法珀温度、应变和压力传感器制造技术

本实用新型专利技术提供一种机械稳定性好且耐高温的光纤法珀温度、应变和压力传感器。光纤法珀温度、应变传感器，包括光纤和被接光纤，在光纤或／和被接光纤的端面有微槽，光纤和被接光纤通过熔接或对接连接在一起，所述微槽形成ＦＰ腔。光纤法珀压力传感器，上述的法珀温度、应变传感器的端面与ＦＰ腔之间形成压力膜片，所述压力膜片的厚度小于１０微米。本实用新型专利技术在一段或两段单模或多模光纤端面上加工有微槽，两段光纤熔接或对接形成光纤法珀传感器，机械稳定性好且耐高温。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于光纤传感
，特别是涉及一种光纤法珀(FP) 温度、应变和压力传感器。 技术背景近年来，随着生物、医学、能源、环境、航天航空、军事等领域的快 速发展，对传感器的微型化、轻量化、低能耗、耐恶劣环境能力等提出了 非常迫切的要求，微纳传感器已成为国际上的重大科技前沿热点之一。激 光微加工技术的迅猛发展为研究新一代微纳光纤传感器件提供了新的技术 手段，因此如何应用激光等现代微纳米加工技术在光纤上实现各种微纳功 能性传感器件是未来光纤传感器发展的重要趋势，也是传感器大领域中的 一个十分前沿、重大的科学课题。基于MEMS的微纳传感器都是基于电参数测量的原理，在耐恶劣环境能 力方面还存在诸多问题，特别是难以在高温(60(TC以上)、低温(-6(TC以 下)、强电磁干扰、易燃易爆环境等恶劣条件下工作，从而极大地限制了 MEMS传感器在许多重要领域的特殊应用，如航天航空、能源、化工、生物 医学等。在传感器的大家族中，光纤传感器具有本质安全、不受电磁干扰、 便于联网与远距离遥测、适于恶劣环境等一系列优点，已逐渐成为新一代 传感器技术的主流发展方向之一。在光纤传感器中，作为温度、应变和本文档来自技高网...

【技术保护点】
光纤法珀温度、应变传感器，包括光纤（１）和被接光纤（４），其特征在于，在光纤（１）或／和被接光纤（４）的端面有微槽，光纤（１）和被接光纤（４）通过熔接或对接连接在一起，所述微槽形成ＦＰ腔（７）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：冉曾令，饶云江，
申请(专利权)人：冉曾令，
类型：实用新型
国别省市：90[中国|成都]