用于沉积蒸发的源材料的蒸发源、屏蔽蒸发的源材料的方法和用于蒸发源的屏蔽装置制造方法及图纸

本文描述的实施方式涉及一种用于蒸发源(20)的屏蔽装置(200)。蒸发源(20)被配置成引导蒸发的源材料通过一个或多个出口(22)。屏蔽装置(200)包括一个或多个可移动屏蔽装置部分(205)，所述可移动屏蔽装置部分被配置成根据来自一个或多个出口(22)的蒸发的源材料的羽流(342)的发射角度来阻挡蒸发的源材料并且被配置成通过移动进行替换。披露了一种包括一个或多个屏蔽带(210)的屏蔽装置。还披露了一种蒸发源和一种屏蔽的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于沉积蒸发的源材料的蒸发源、屏蔽蒸发的源材料的方法和用于蒸发源的屏蔽装置
本公开内容总体上涉及用于沉积蒸发的源材料的蒸发源，并且具体而言涉及用于蒸发源的屏蔽装置和屏蔽蒸发的源材料的方法。更具体而言，本公开内容涉及用于有机材料的蒸发的蒸发源和涉及在用于制造装置(特别是其中包括有机材料的装置)的沉积系统中使用的屏蔽装置。
技术介绍
有机蒸发器是用于生产有机发光二极管(organiclight-emittingdiode；OLED)的工具。OLED是一种特殊类型的发光二极管，其中发射层包括某些有机化合物的薄膜。有机发光二极管(OLED)用于制造电视屏幕、计算机监视器、移动电话和其他用于显示信息的手持装置。OLED也可用于一般空间照明。此外，OLED可制造在柔性基板上的事实产生进一步的应用。例如，OLED显示器可包括位于两个电极之间的有机材料层，所述有机材料层均以形成具有单独可激发像素(energizablepixel)的矩阵显示面板的方式全部沉积在基板上。OLED通常放置在两个玻璃面板之间，并且密封玻璃面板的边缘以将OLED封装在其中。...

【技术保护点】
1.一种用于蒸发源(20)的屏蔽装置(200)，所述蒸发源(20)被配置成引导蒸发的源材料通过一个或多个出口(22)，所述屏蔽装置(200)包括：/n一个或多个可移动屏蔽装置部分(205)，所述可移动屏蔽装置部分被配置成根据来自所述一个或多个出口(22)的蒸发的源材料的羽流(342)的发射角度来阻挡蒸发的源材料并且被配置成通过移动进行替换。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于蒸发源(20)的屏蔽装置(200)，所述蒸发源(20)被配置成引导蒸发的源材料通过一个或多个出口(22)，所述屏蔽装置(200)包括：
一个或多个可移动屏蔽装置部分(205)，所述可移动屏蔽装置部分被配置成根据来自所述一个或多个出口(22)的蒸发的源材料的羽流(342)的发射角度来阻挡蒸发的源材料并且被配置成通过移动进行替换。


2.根据权利要求1所述的屏蔽装置(200)，其中所述屏蔽装置(200)包括一个或多个屏蔽带(210)，所述屏蔽带包括所述一个或多个可移动屏蔽装置部分(205)。


3.根据权利要求2所述的屏蔽装置(200)，其中所述屏蔽装置(200)包括：用于所述带的展开供应装置(212)，所述展开供应装置被配置成提供所述一个或多个屏蔽带(210)；和用于所述带的卷取装置(214)，所述卷取装置被配置用于接收所述一个或多个屏蔽带(210)。


4.根据权利要求2至3中任一项所述的屏蔽装置(200)，其中所述一个或多个屏蔽带(210)由金属制成，具体地是由不锈钢制成和/或可用钛涂覆。


5.根据权利要求3至4中任一项所述的屏蔽装置(200)，其中用于所述带的所述展开供应装置(212)和/或用于所述带的所述卷取装置(214)由致动器(216)驱动。


6.根据权利要求1至5中任一项所述的屏蔽装置(200)，其中所述移动是所述一个或多个可移动屏蔽装置部分(205)从用于所述带的所述展开供应装置(212)朝向用于所述带的所述卷取装置(214)的方向的移动。


7.一种用于蒸发源(20)的屏蔽装置(200)，所述蒸发源(20)被配置成引导蒸发的源材料通过一个或多个出口(22)，所述屏蔽装置(200)包括：
可移动屏蔽带(210)，所述可移动屏蔽带提供一个或多个可移动屏蔽装置部分(205)，所述可移动屏蔽装置部分被配置成根据蒸发源材料的羽流的发射角度来阻挡蒸发的源材料；
用于所述带的展开供应装置(212)；和
用于所述带的卷取装置(214)。


8.根据权利要求1至7中任一项所述的屏蔽装置(200)，其中所述一个或多个屏蔽装置部分(...

【专利技术属性】
技术研发人员：托马斯·格比利，安德烈亚斯·勒普，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US