用于从基板升离掩模的设备、基板载体、真空处理系统和操作电永磁铁组件的方法技术方案

描述一种设备，用于从基板升离安装在掩模框架处的掩模。所述设备包括电永磁铁组件和磁铁布置，所述磁铁布置附接于所述掩模。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于从基板升离掩模的设备、基板载体、真空处理系统和操作电永磁铁组件的方法
本公开内容的实施方式涉及用于材料在基板上的带掩模沉积的设备和方法，特别是使用图案掩模(patternmask)，例如精细金属掩模(finemetalmask)。本公开内容的实施方式涉及从基板升离(liftoff)掩模的设备和方法。特别地，本公开内容的实施方式涉及在具有真空工艺腔室的处理系统中从基板升离掩模的设备和方法，特别是用于OLED制造。背景出于若干原因，利用有机材料的光电装置，例如有机发光二极管(OLED)越来越受到欢迎。OLED是发光二极管的特别类型，其中发射层包括特定有机化合物的薄膜。在电视屏幕、计算机监视器、移动电话、其他手持装置等的制造中使用有机发光二极管(OLED)，以显示信息。OLED也可被用于一般空间照明。由于OLED像素直接发光并且不包含背光，OLED显示器可能的颜色、亮度和视角的范围大于传统LCD显示器的颜色、亮度和视角的范围。因此，OLED显示器的能耗显著小于传统LCD显示器的能耗。再者，OLED可被制造于柔性基板上制造的事实带来进一步的应用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于从基板升离安装在掩模框架处的掩模的设备，包括：/n电永磁铁组件；和/n磁铁布置，附接于所述掩模。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于从基板升离安装在掩模框架处的掩模的设备，包括：
电永磁铁组件；和
磁铁布置，附接于所述掩模。


2.如权利要求1所述的设备，所述电永磁铁组件包括：
第一磁铁单元，包括硬磁材料；
第二磁铁单元，包括软磁材料；和
电磁单元，经配置以调整所述第二磁铁单元的磁化。


3.如权利要求1至2中任一项所述的设备，其中所述磁铁布置是永久磁铁。


4.一种用于相对于基板来移动安装在掩模框架处的掩模的设备，包括：
电永磁铁元件，被包括于电永磁铁组件之中；和
磁铁布置，附接于所述掩模。


5.如权利要求4所述的设备，所述电永磁铁组件经配置以提供吸引力至附接于所述掩模的所述磁铁布置。


6.如权利要求4至5中任一项所述的设备，所述电永磁铁组件经配置以提供斥力至附接于所述掩模的所述磁铁布置。


7.一种基板载体，包括：
根据权利要求1至6中任一项的设备。


8.如权利要求7所述的基板载体，进一步包括基板接收表面，所述电永磁铁组件位于所述基板接收表面的第一侧上，并且所述磁铁布置位于所述基板接收表面的第二侧上。


9.一种基...

【专利技术属性】
技术研发人员：迈克尔·雷纳·舒尔特海斯，塞巴斯蒂安·巩特尔·臧，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US