【技术实现步骤摘要】
烧结座、芯体结构、基座组件以及压差传感器
本专利技术实施例涉及压力传感器
，特别涉及一种烧结座、芯体结构、基座组件以及压差传感器。
技术介绍
压差传感器是一种用来测量两个压力之间差值的传感器，通常用于测量某一设备或部件前后两端的压差。压差传感器通常应用于废气再循环系统(ExhaustGasRe-circulation，缩写EGR)，废气再循环系统主要作用是将引擎排出的部分废气送回进气歧管，并与空气再次进入气缸中燃烧做功，由于存在燃烧不完全的情况，若废气直接进入芯体的压力孔会造成颗粒物在压力孔处堆积，甚至是堵塞压力孔，因此需要采用烧结座，将芯片安装在烧结座中保护芯片防止压力孔堵塞等。现有技术中应用于废气再循环系统的压差传感器的基座组件包括具有烧结座的芯体、两个密封接头以及底座，所述烧结座横向延伸，且所述芯体的两个感振元件沿横向背离设置且分别通两个密封接头的一端密封连接，所述两个密封接头的另一端安装在所述底座上，由于感振元件较小时，感振元件的热影响区离感应区较近，降低了感振元件的性能，会导致芯片感测到的经感...
【技术保护点】
1.一种用于压差传感器的烧结座，其特征在于，包括：/n壳体，沿第一方向间隔设有开口朝向第二方向的第一腔室和第二腔室，所述第二腔室沿所述第二方向具有顶壁，所述顶壁贯设有压力孔，所述壳体内设有用于流通流体介质的第一通路，所述第一腔室和第二腔室用于分别安装朝向第二方向设置的第一感振元件和第二感振元件。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种用于压差传感器的烧结座，其特征在于，包括：
壳体，沿第一方向间隔设有开口朝向第二方向的第一腔室和第二腔室，所述第二腔室沿所述第二方向具有顶壁，所述顶壁贯设有压力孔，所述壳体内设有用于流通流体介质的第一通路，所述第一腔室和第二腔室用于分别安装朝向第二方向设置的第一感振元件和第二感振元件。
2.一种芯体结构，其特征在于，包括：
如权利要求1所述的用于压差传感器的烧结座；
检测结构，包括第一感振元件和第二感振元件，所述第一感振元件和所述第二感振元件朝向第二方向设置，且分别安装在所述第一腔室和所述第二腔室，用于将所述第一腔室和所述第二腔室分别隔成沿第二方向的上腔、下腔，所述第一腔室的上腔、第一通路、以及所述压力孔连通设置，所述第二腔室的上腔用于设有流体介质；以及，
芯片，安装在第二腔室的顶壁且覆盖所述压力孔。
3.如权利要求2所述的芯体结构，其特征在于，所述第一感振元件和/或所述第二感振元件为金属件。
技术研发人员：王小平，曹万，王红明，王晓燕，梁世豪，张超军，李凡亮，
申请(专利权)人：武汉飞恩微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42
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