一种朗缪尔探针的测试电路制造技术

本实用新型专利技术公开了一种朗缪尔探针的测试电路，包括有源负载电路，无源负载电路，及与有源负载电路、无源负载电路连接的同轴接口；所述同轴接口与朗缪尔探针电性连接；所述有源负载电路包括稳压电源模块，电流源模块及二极管阵列模块。本实用新型专利技术对朗缪尔探针的检测具有稳定性高、噪音低、重复精度高的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种朗缪尔探针的测试电路
本技术涉及测量设备
，更具体地说是一种朗缪尔探针的测试电路。
技术介绍
低温等离子体广泛应用于刻蚀、沉积、镀膜等半导体制造工艺环节。随着半导体加工工艺逐步进入7纳米甚至5纳米制程，器件制造商需要调节制造设备控制参数从而对半导体设备内部等离子体状态进行精细控制。这些控制必须建立在大量实验数据测量的基础上，即对等离子体密度、电子温度、等离子体电位以及这些参数的空间分布等信息的实验诊断。朗缪尔探针是对低温等离子体进行测量诊断的关键设备，工作方式是通过将探针针尖偏置到设定的电压上，同时测量针尖收集的微弱电流。通常情况下，探针针尖收集的电流取决于针尖电压所处的三个不同的区间：(1)当针尖电压低于等离子体悬浮电位时，探针收集的电流为微安级别的离子饱和电流；(2)当针尖电压高于等离子体电位时，探针收集的电流为毫安级别的电子饱和电流；(3)当针尖电压介于悬浮电位与等离子体电位之间的阻滞区时，探针收集的电流从微安级别的离子饱和电流逐渐过渡到毫安级别的电子饱和电流，且电流随电压呈指数跨越多个数量级。>针尖电压处于上述阻本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种朗缪尔探针的测试电路，其特征在于，包括有源负载电路，无源负载电路，及与有源负载电路、无源负载电路连接的同轴接口；所述同轴接口与朗缪尔探针电性连接；所述有源负载电路包括稳压电源模块，电流源模块及二极管阵列模块。/n

【技术特征摘要】
1.一种朗缪尔探针的测试电路，其特征在于，包括有源负载电路，无源负载电路，及与有源负载电路、无源负载电路连接的同轴接口；所述同轴接口与朗缪尔探针电性连接；所述有源负载电路包括稳压电源模块，电流源模块及二极管阵列模块。


2.根据权利要求1所述的一种朗缪尔探针的测试电路，其特征在于，所述电流源模块包括三极管Q1，三极管Q2；所述三极管Q1的基极与三极管Q2的基极电连接；所述三极管Q1、三极管Q2的发射极接地；所述三极管Q1的集电极与稳压电源模块电性连接；所述三极管Q2的集电极与二极管阵列模块电性连接；所述三极管Q1通过并联的若干个上拉电阻与稳压电源模块电性连接。


3.根据权利要求2所述的一种朗缪尔探针的测试电路，其特征在于，所述上拉电阻包括上拉电阻R1、上拉电阻R2、上拉电阻R3；所述上拉电阻R1、上拉电阻R2、上拉电阻R3并联，并通过开关S1与稳压电源模块电性连接。


4.根据权利要求3所述的一种朗缪尔探针的测试电路，其特征在于，所述二极管阵列模块包括若干个二极管单元组；所述二极管单元组的阳极输入端与同轴接口电连接，阴极输入端与三极管Q2的集电极电连接；所述二极管单元组为若干个二极管相互串联。


5.根据权利要求4所述的一种朗缪尔探针的测试电路，其特征在于，所述二极管单元组为三个，分别为二极管单元一组、二极管单元二组及二极管单元三组；所述二极管单元一组、二极管单元二组及二极管单元三组相互串联；所述二极管单元一组的阳极端与二极管单元二组的阴极端之间设有第一触点；所述二极管单元二组的阳极端与二极管单元三组的阴极端之间设有第二触点；所述二极管单元三组的阳极端设有第三触点；所述同轴接口设有档位开关S2，且档位开关S2...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈海清，陈文聪，
申请(专利权)人：深圳市爱科三维科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44