闸阀制造技术

本发明专利技术提供闸阀，在两面密封式的闸阀中，降低动作时的振动而利用阀板实现闭阀时稳定的密封性。本发明专利技术的闸阀(1)由配置在阀箱(2)内的阀板(3)开闭设置在阀箱(2)的两侧面的开口部(7、8)，并且具备：在阀箱(2)内能够升降和倾倒地被支承的阀杆(4)；使阀杆(4)进行预定行程升降和倾倒的驱动机构(5)；由设置在驱动机构(5)的行程中途的弹簧复位式的止动销(30)构成，通过供给压缩空气或停止供给而进退来限制或解除阀杆(4)的上升的止动机构(6)；降低在因驱动机构(5)使阀杆(4)动作时产生的振动的振动降低部，作为振动降低部，设置缓解止动销(30)的销杆(36)与承重辊(29)碰撞时的冲击的切口(40)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】闸阀
本专利技术涉及一种设置在两个腔室之间的两面密封式的闸阀。
技术介绍
以往，作为这种阀体，已知有下述专利文献1所记载的闸阀。该闸阀是由阀台、阀杆、第一移动装置、以及连结装置构成，并阀杆将连结装置的行程终点作为支点倾动且将阀台按压在阀座上的阀体。在连结装置的行程中途设置有停止连结装置的行程动作的止动件、以及使止动件移动而进行停止行程动作的第二移动装置。另外，止动件构成为在阀台移动到不与阀座相对的位置时通过第二移动装置移动而停止连结装置的行程动作，在该状态下，第一移动装置使阀台倾动，沿与阀座相同的方向按压阀台。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002-303372号公报
技术实现思路
技术问题若使用专利文献1所记载的以往的闸阀，则通过作为第二移动装置的活塞缸体装置而使止动件突出移动，停止连结装置的行程动作。此时，由于止动件碰到枢轴(支点)而停止连结装置的移动，所以有因碰撞时的冲击而产生振动这样的问题。然而，在以往的闸阀中，没有任何针对该振动的对策。因此，本专利技术是为了解决这样的问题而做出的，其目的在于，在两面密封式的闸阀中，降低在动作时产生的振动，从而利用阀板实现闭阀时的稳定的密封性。技术方案为了达到上述目的，本专利技术的特征在于，所述闸阀利用配置在阀箱内的阀板来开闭设置在所述阀箱的两侧面的开口部，所述闸阀具备：阀杆，其与所述阀板结合，并且以能够升降和能够倾倒的方式在所述阀箱内被支承；驱动机构，其设置在所述阀箱外，使所述阀杆进行预定行程升降和倾倒；止动机构，其包括设置在所述驱动机构的行程中途的弹簧复位式的止动销，通过供给压缩空气使所述止动销的销杆抵抗弹簧的弹力而沿着与所述阀杆的行程方向正交的水平方向前进，使与所述阀杆结合的凸轮板或安装于凸轮板的承重辊碰到所述销杆而限制所述阀杆的上升，另一方面通过停止供给压缩空气使所述销杆利用所述弹簧的反作用力沿所述水平方向后退，使所述凸轮板或所述承重辊不碰到所述销杆而解除所述阀杆的上升限制；以及振动降低部，其降低在因所述驱动机构而使所述阀杆动作时产生的振动。另外，在本专利技术中，作为所述振动降低部，可以在所述止动销的销杆实施缓解所述销杆与所述凸轮板或所述承重辊碰撞时的冲击的切口加工或锪孔加工。另外，在本专利技术中，作为所述振动降低部，可以设置在开阀时将所述阀板开始从所述阀箱的阀座面离开的速度设定为低速的延迟电路。另外，在本专利技术中，所述闸阀可以以使固定于所述阀板的O型环平行地压抵到阀座的方式使所述阀板的阀板面倾斜。技术效果根据本专利技术的闸阀，有如下效果：通过采用了利用供给压缩空气或停止供给而进退从而限制或解除阀杆的上升的止动机构，从而无需通过压力调整来控制阀杆在预定位置的停止，而且，通过具备降低在阀杆动作时产生的振动的振动降低部，从而能够抑制动作时的振动而利用阀板稳定闭阀时的密封性，并且能够抑制灰尘产生。附图说明图1是本专利技术的闸阀的整体图，图1的(A)是主视图，图1的(B)是主要部分的左视图，图1的(C)是右视下的局部截面图，图1的(D)是仰视图。图2是示出本专利技术的闸阀全开时“打开”的状态的图，图2的(A)是主视下的截面图，图2的(B)是右侧视的截面图。图3是示出在本专利技术的闸阀的第一阀板关闭第一开口部时“关闭1”的状态的图，图3的(A)是主视下的截面图，图3的(B)是右视下的截面图，图3的(C)是止动销部分的放大截面图，图3的(D)是从箭头D方向观察的将销杆进行切口加工后的端面图，图3的(E)是将销杆锪孔加工后的端面图。图4是从本专利技术的闸阀的“打开”到“关闭1”的动作说明图，图4的(A)示出“打开”时的状态，图4的(B)示出动作开始时的状态，图4的(C)示出“关闭1”停止时的状态。图5是示出在本专利技术的闸阀的第二阀板关闭第二开口部时“关闭2”的状态的图，图5的(A)是主视下的截面图，图5的(B)是右视下的截面图，图3的(C)是止动销部分的放大截面图。图6是从本专利技术的闸阀的“打开”到“关闭2”的动作说明图，图6的(A)示出“打开”时的状态，图6的(B)示出动作开始时的状态，图6的(C)示出通过“关闭1”位置时的状态，图6的(D)示出“关闭2”停止时的状态。图7是本专利技术的闸阀的右侧视的主要部分截面图、主视下的主要部分截面图、右视下的主要部分俯视图，图7的(A)示出密封动作前的状态，图7的(B)示出密封动作时的状态，图7的(C)示出维护动作时的状态。图8是示出本专利技术的闸阀的延迟电路所进行的动作的时序图。图9是对本专利技术的闸阀的延迟电路与常规电路的动作振动进行比较的图表。符号说明1闸阀2阀箱3阀板4阀杆5驱动机构6止动机构7开口部(第一开口部)8开口部(第二开口部)9室内空间10第一阀板11第二阀板12O型环13O型环14螺栓15维护凸缘16护罩凸缘17杆引导件18波纹管19支点辊20辊引导件21方向切换辊22凸轮23凸轮槽24凸轮板26线圈弹簧27气缸28活塞杆29承重辊30止动销31主体32杆罩33密闭空间34衬垫35弹簧36销杆37空气导管38电磁阀39压缩空气供给口40切口41锪孔具体实施方式以下，参照附图，对用于实施本专利技术的方式进行详细说明。如图1所示，本实施方式的闸阀1是在制造平板显示屏和/或半导体基板的装置中，用于隔离真空与真空或者隔离真空与大气的闸阀，在制造显示屏和/或基板的基础上被用于隔离各种工序。该闸阀1是所谓的阀箱型的两面密封式闸阀，所述闸阀1构成为具备：扁平方形的阀箱2；阀板3，其收容在阀箱2的内部；阀杆4，其与阀板3结合；驱动机构5，其使阀杆4进行预定行程升降以及倾倒动作；止动机构6，其限制或解除阀杆4的上升；以及振动降低装置，其降低因驱动机构5而在阀杆4动作时产生的振动。在阀箱2的左右两侧的壁面，为了使基板通过而设置有细长形状的开口部(第一开口部7与第二开口部8)。在第一开口部7的外壁面连接有处理室(省略图示)，在第二开口部8的外壁面连接有搬送室(省略图示)。而且，从搬送室经过阀箱2搬送到处理室的基板保持在通过关闭闸阀1而密封的环境中，在处理室的室内进行用于各种制膜的热处理、气体处理、等离子体处理等处理。如图2所示，在阀箱2的室内空间9相对地设置有一对选择性地开闭开口部7、开口部8的阀板3(第一阀板10与第二阀板11)。第一阀板10与第二阀板11在其外侧面嵌入固定有分别比第一开口部7和第一开口部8大一圈尺寸的O型环12、O型环13来作为弹性密封部件。第一阀板10与第二阀板11如图1的(C)所示地通过被螺栓14固定而能够分开地结合本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种闸阀，其特征在于，利用配置在阀箱内的阀板来开闭设置在所述阀箱的两侧面的开口部，所述闸阀具备：/n阀杆，其与所述阀板结合，并且以能够升降和能够倾倒的方式在所述阀箱被支承；/n驱动机构，其设置在所述阀箱外，使所述阀杆进行预定行程升降和倾倒；/n止动机构，其包括设置在所述驱动机构的行程中途的弹簧复位式的止动销，通过供给压缩空气而使所述止动销的销杆抵抗弹簧的弹力沿着与所述阀杆的行程方向正交的水平方向前进，使与所述阀杆结合的凸轮板或安装于凸轮板的承重辊碰到所述销杆而限制所述阀杆的上升，另一方面通过停止供给压缩空气而使所述销杆利用所述弹簧的反作用力沿所述水平方向后退，使所述凸轮板或所述承重辊不碰到所述销杆而解除所述阀杆的上升限制；以及/n振动降低部，其降低在因所述驱动机构而使所述阀杆动作时产生的振动。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种闸阀，其特征在于，利用配置在阀箱内的阀板来开闭设置在所述阀箱的两侧面的开口部，所述闸阀具备：
阀杆，其与所述阀板结合，并且以能够升降和能够倾倒的方式在所述阀箱被支承；
驱动机构，其设置在所述阀箱外，使所述阀杆进行预定行程升降和倾倒；
止动机构，其包括设置在所述驱动机构的行程中途的弹簧复位式的止动销，通过供给压缩空气而使所述止动销的销杆抵抗弹簧的弹力沿着与所述阀杆的行程方向正交的水平方向前进，使与所述阀杆结合的凸轮板或安装于凸轮板的承重辊碰到所述销杆而限制所述阀杆的上升，另一方面通过停止供给压缩空气而使所述销杆利用所述弹簧的反作用力沿所述水平方向后退，使所述凸轮板或所述承重辊不碰到所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：矢部学，山口真矢，须贺悠介，
申请(专利权)人：入江工研株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP