【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种滤色片喷涂制造法及设备，用于制造滤色片，特别是涉及一种具有能即时校正定位且直接将墨滴喷涂于滤色片基板上的滤色片喷涂制造法及设备。传统的滤色片的制造步骤概略有四种，不论是在上色、清洁、干燥或是蚀刻等等同样都需要相当复杂的工序，所以要降低制造成本，确实存在一定的困难。为了进一步降低成本，主要的技术突破在于喷涂制造法的问世，喷涂制造法主要是将墨滴直接喷涂着色在滤色片基板上由黑色模版形成的凹坑内，不同型式的滤色片有不同的颜色喷布型式，一般以红绿蓝(R、G、B)三色作为一个基本的单元。喷涂制造法相对于其他半导体制造方法，其设备与制造成本可大幅度降低。但是，相应地，喷涂制造法必须相当精确的位置定位，方能将墨滴精确地喷涂在预定的位置上，此外，墨滴在凹坑内的扩散均匀性不佳，会造成凹坑间的白色缺陷。针对这些问题，已经提出了一些解决的方案，概略说来，多是利用吸墨层的设置，也就是说在滤色片基板的凹坑内，设置有吸墨层，将墨滴以特殊的方式排列(包含墨滴的大小以及位置)进行喷涂，再利用吸墨层的高扩散性将其扩散到想要的区域，且利用光学校正定位的方式，提供更加精确的定位。...
【技术保护点】
一种滤色片喷涂设备，系包含有： 一喷墨头组件，具有至少一个喷孔，且每种颜色具有各自的喷墨头，用以对滤色片基板上喷涂墨滴； 一运动平台，用以承载所述滤色片基板，且使得所述滤色片可相对于所述喷墨头组件移动； 一喷流组件，位于所述喷墨头组件一侧，用以对喷涂后的滤色片基板加以吹气使墨滴均匀化； 一光学检测系统，用以检测所述滤色片基板以及所述喷孔的相对位置；以及 一控制系统，用以控制所述喷墨头组件、所述运动平台、所述喷流头组件以及所述光学检测系统。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郑兆凯，杨慈雅，陈以哲，胡纪平，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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