叠层柔性衬底及其制备方法、发光二极管技术

本发明专利技术提供了一种叠层柔性衬底，包括聚合物底层以及设置在所述聚合物底层上的第一绝缘层，且所述第一绝缘层的材料为无机氧化物。本发明专利技术提供的叠层柔性衬底，一方面，所述无机氧化物材料的绝缘层能够隔绝水氧，降低水蒸气和氧气的渗透率，延长在叠层柔性衬底上形成的器件的使用寿命；另一方面，无机氧化物在成膜过程中能够自动填充聚合物底层的孔隙，降低聚合物底层的表面粗糙度，提高叠层柔性衬底表面膜层的成膜性能，进而减少形成在叠层柔性衬底表面的膜层的缺陷，提高在叠层柔性衬底上形成的器件的性能。

【技术实现步骤摘要】
叠层柔性衬底及其制备方法、发光二极管
本专利技术属于显示
，尤其涉及一种叠层柔性衬底及其制备方法，以及一种含有上述叠层柔性衬底的发光二极管。
技术介绍
量子点发光二极管(QLED)、有机发光二极管(OLED)是显示技术的两个重要方向。随着显示技术的发展，用户体验要求越来越高，柔性显示器件应运而生。由于聚合物具有柔韧性好、质量轻、耐冲击等优点，目前，量子点发光二极管、有机发光二极管显示大多采用聚合物材料作为柔性衬底，例如聚乙烯(PE)、聚酰亚胺(PI)等材料。但是选择聚合物衬底还是存在很多问题，如：聚合物材料对水蒸气和氧气的阻隔能力差，很难满足量子点发光二极管、有机发光二极管对水蒸气和氧气渗透率的封装要求，且其表面粗糙度太大，在聚合物衬底表面镀制多层薄膜时容易产生缺陷，影响器件的性能。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种叠层柔性衬底及其制备方法，旨在解决现有的聚合物柔性衬底水氧阻隔性能差以及表面成膜性能差的问题。本专利技术另一目的在于提供一种含有上述叠层柔性衬底的发光二极管。为实现上述专利技术目的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种叠层柔性衬底，其特征在于，包括聚合物底层以及设置在所述聚合物底层上的第一绝缘层，且所述第一绝缘层的材料为无机氧化物。/n

【技术特征摘要】
1.一种叠层柔性衬底，其特征在于，包括聚合物底层以及设置在所述聚合物底层上的第一绝缘层，且所述第一绝缘层的材料为无机氧化物。


2.如权利要求1所述的叠层柔性衬底，其特征在于，所述无机氧化物选自SiOx、SiC、Si3N4、WO3中的至少一种，其中，SiOx为纳米硅基氧化物；和/或
所述聚合物底层的厚度为10～20nm；和/或
所述第一绝缘层的厚度为10～20nm。


3.如权利要求1或2所述的叠层柔性衬底，其特征在于，所述叠层柔性衬底还包括至少一个亚叠层单元，所述亚叠层单元包括层叠设置的金属氧化物层和第二绝缘层，且所述亚叠层单元中的所述金属氧化物层邻近所述第一绝缘层一端设置。


4.如权利要求3所述的叠层柔性衬底，其特征在于，所述金属氧化物层的材料选自Al2O3、K2O、MgO、TiO2、ZrO2、ZnO、Fe2O3、CaO、B2O3中的至少一种；和/或
所述第二绝缘层的材料为无机氧化物。


5.如权利要求1或2或4所述的叠层柔性衬底，其特征在于，所述叠层柔性衬底由聚合物底层，在所述聚合物底层上设置的第一绝缘层，在所述第一绝缘层背离所述聚合物底层的表面设置的...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁文林，
申请(专利权)人：TCL集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44