一种光学扫描头,包括: 一个底基板,上面形成具有预定图案的互连层; 一个框架,它为矩形框状,形成于底基板之上; 一个H型平台,它有一个在框架中相对于单轴中心轴往复运动、并定位于单轴中心轴的中心区和四个延伸区,这四个延伸区从单轴中心轴穿过的中心区的两侧平行于单轴中心轴延伸; 支撑件,其具有定位于中心轴上并与框架相连的支撑条和从支撑条延伸出并连接于平台中心区的扭杆; 平台驱动机构,包括活动电极梳和固定电极梳,它们分别位于平台的下面和与平台正对的底基板的上面。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)
【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李振镐,高泳哲,
申请(专利权)人:三星电子株式会社,
类型:发明
国别省市:
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