机台负载的动态预测方法及装置、计算机可读存储介质制造方法及图纸

一种机台负载的动态预测方法及装置、计算机可读存储介质，所述机台负载的动态预测方法包括：获取第i个站点的标准过货速度；根据所述第i个站点的标准过货速度，计算所述第i个站点的标准在制品数量；当检测到所述第i个站点的实际在制品数量与所述第i个站点的标准在制品数量不同时，获取预设敏感度调整系数；采用所述敏感度调整系数对所述第i个站点的标准过货速度进行调整，得到调整后的过货速度；采用所述调整后的过货速度对未来预设时长内所述第i个站点对应的机台的产品预测量进行预测；根据所述第i个站点对应的机台的产品预测量，预测所述第i个站点对应的机台的负载预测量并输出。采用上述方案，能够提高机台负载预测的准确度。

【技术实现步骤摘要】
机台负载的动态预测方法及装置、计算机可读存储介质
本专利技术实施例涉及半导体
，尤其涉及一种机台负载的动态预测方法及装置、计算机可读存储介质。
技术介绍
一条半导体生产线通常由不同的设备及不同的产品组成。由于半导体生产是一个多重入式生产过程，同一个机组可能运行一条产品线的不同站点，也可以运行其他产品的站点。为了确保半导体生产的有序进行，通常采用静态4M负载预测方法预测机台在未来一段时间内的负载预测量。然而，对于半导体生产线而言，由于生产线上的在制品数量每天在变化、产品投放的下线计划也在不断调整，因此，采用静态的4M负载预测方法得到的机台负载预测量准确度较低。
技术实现思路
本专利技术实施例解决的技术问题是预测得到的机台负载的准确度较低。为解决上述技术问题，本专利技术实施例提供一种机台负载的动态预测方法包括：获取第i个站点的标准过货速度；根据所述第i个站点的标准过货速度，计算所述第i个站点的标准在制品数量；当检测到所述第i个站点的实际在制品数量与所述第i个站点的标准在制品数量不同时，获取预设敏感度调整系数；采用所述敏感度调整系数对所述第i个站点的标准过货速度进行调整，得到调整后的过货速度；采用所述调整后的过货速度对未来预设时长内所述第i个站点对应的机台的产品预测量进行预测；根据所述第i个站点对应的机台的产品预测量，预测所述第i个站点对应的机台的负载预测量并输出。可选的，所述获取第i个站点的标准过货速度，包括：获取历史预设时间段内第i个站点的历史平均过货速度，作为所述第i个站点的标准过货速度。可选的，所述获取预设敏感度调整系数，包括：当所述第i个站点的实际在制品数量与所述第i个站点的标准在制品数量的差值处于预设范围时，获取第一敏感度调整系数，其中，所述第一敏感度调整系数与所述差值正相关；当所述第i个站点的实际在制品数量与所述第i个站点的标准在制品数量的差值小于所述预设范围时，获取第二敏感度调整系数；当所述第i个站点的实际在制品数量与所述第i个站点的标准在制品数量的差值大于所述预设范围时，获取第三敏感度调整系数。可选的，所述采用所述调整后的过货速度对未来预设时长内所述第i个站点对应的机台的产品预测量进行预测，包括：根据所述第i个站点的实际在制品数量以及所述第i个站点的标准过货速度，计算所述第i个站点的过货时间；当所述第i个站点的过货时间小于所述未来预设时长时，获取所述第i个站点之前的m个站点，其中，所述第i个站点的过货时间与所述第i个站点之前的m个站点的过货时间之和大于或等于所述未来预设时长，且所述第i个站点的过货时间与所述第i个站点之前的m-1个站点的过货时间之和小于所述未来预设时长；计算在所述未来预设时长内，第i-m个站点的实际在制品数量；获取在所述未来预设时长内的产品下线计划，确定预投放产品数量；将所述未来预设时长内的所述预投放产品数量、所述第i个站点的实际在制品数量、所述第i个站点之前的m-1个站点的实际在制品数量及所述第i-m个站点的实际在制品数量之和作为所述第i个站点对应的机台在所述未来预设时长内的产品预测量。可选的，所述预测所述第i个站点对应的机台的负载预测量，包括：计算所述第i个站点对应的机组的日产量，每个机组包括若干个机台；根据所述第i个站点对应的机台的产品预测量以及所述第i个站点对应的机组的日产量，计算所述第i个站点对应的机组的负载预测量。可选的，在计算得到所述第i个站点对应的机组的负载预测量之后，还包括：根据所述第i个站点对应的机组的负载预测量，调整所述机组中对应的机台的工作状态。本专利技术实施例还提供一种机台负载的动态预测装置，包括：第一获取单元，适于获取第i个站点的标准过货速度；计算单元，适于根据所述第i个站点的标准过货速度，计算所述第i个站点的标准在制品数量；第二获取单元，适于当检测到所述第i个站点的实际在制品数量与所述第i个站点的标准在制品数量不同时，获取预设敏感度调整系数；第一调整单元，适于采用所述敏感度调整系数对所述第i个站点的标准过货速度进行调整，得到调整后的过货速度；第一预测单元，适于采用所述调整后的过货速度对未来预设时长内所述第i个站点对应的机台的产品预测量进行预测；第二预测单元，适于根据所述第i个站点对应的机台的产品预测量，预测所述第i个站点对应的机台的负载预测量；输出单元，适于输出所述第i个站点对应的机台的负载预测量。可选的，所述第一获取单元，适于获取历史预设时间段内第i个站点的历史平均过货速度，作为所述第i个站点的标准过货速度。可选的，所述第二获取单元，适于当所述第i个站点的实际在制品数量与所述第i个站点的标准在制品数量的差值处于预设范围时，获取第一敏感度调整系数，其中，所述第一敏感度调整系数与所述差值正相关；当所述第i个站点的实际在制品数量与所述第i个站点的标准在制品数量的差值小于所述预设范围时，获取第二敏感度调整系数；当所述第i个站点的实际在制品数量与所述第i个站点的标准在制品数量的差值大于所述预设范围时，获取第三敏感度调整系数。可选的，所述第一调整单元，适于根据所述第i个站点的实际在制品数量以及所述第i个站点的标准过货速度，计算所述第i个站点的过货时间；当所述第i个站点的过货时间小于所述未来预设时长时，获取所述第i个站点之前的m个站点，其中，所述第i个站点的过货时间与所述第i个站点之前的m个站点的过货时间之和大于或等于所述未来预设时长，且所述第i个站点的过货时间与所述第i个站点之前的m-1个站点的过货时间之和小于所述未来预设时长；计算在所述未来预设时长内，第i-m个站点的实际在制品数量；获取在所述未来预设时长内的产品下线计划，确定预投放产品数量；将所述未来预设时长内的所述预投放产品数量、所述第i个站点的实际在制品数量、所述第i个站点之前的m-1个站点的实际在制品数量及所述第i-m个站点的实际在制品数量之和作为所述第i个站点对应的机台在所述未来预设时长内的产品预测量。可选的，所述第二预测单元，适于计算所述第i个站点对应的机组的日产量，每个机组包括若干个机台；根据所述第i个站点对应的机台的产品预测量以及所述第i个站点对应的机组的日产量，计算所述第i个站点对应的机组的负载预测量。可选的，所述机台负载的动态预测装置还包括：第二调整单元，适于根据所述第i个站点对应的机组的负载预测量，调整所述机组中对应的机台的工作状态。本专利技术实施例还提供另一种机台负载的动态预测装置，包括存储器和处理器，所述存储器上存储有可在所述处理器上运行的计算机指令，所述处理器运行所述计算机指令时执行上述任一种机台负载的动态预测方法的步骤。本专利技术实施例还提供一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质为非易失性存储介质或非瞬态存储介质，其上存储有计算机指令，所述计算机指令运行时执行上述任一种机台负载的动态预测方法的步骤。与现有技术相比，本专利技术实施例的技术方案具有以下有益效果：当第i个站点的实际在制品数量与第i个站点的标准在制品数量不同时，采用预设敏感度调整系数对第i个站点的标准过货速度进行调整，并采用调本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机台负载的动态预测方法，其特征在于，包括：/n获取第i个站点的标准过货速度；/n根据所述第i个站点的标准过货速度，计算所述第i个站点的标准在制品数量；/n当检测到所述第i个站点的实际在制品数量与所述第i个站点的标准在制品数量不同时，获取预设敏感度调整系数；/n采用所述敏感度调整系数对所述第i个站点的标准过货速度进行调整，得到调整后的过货速度；/n采用所述调整后的过货速度对未来预设时长内所述第i个站点对应的机台的产品预测量进行预测；/n根据所述第i个站点对应的机台的产品预测量，预测所述第i个站点对应的机台的负载预测量并输出。/n

【技术特征摘要】
1.一种机台负载的动态预测方法，其特征在于，包括：
获取第i个站点的标准过货速度；
根据所述第i个站点的标准过货速度，计算所述第i个站点的标准在制品数量；
当检测到所述第i个站点的实际在制品数量与所述第i个站点的标准在制品数量不同时，获取预设敏感度调整系数；
采用所述敏感度调整系数对所述第i个站点的标准过货速度进行调整，得到调整后的过货速度；
采用所述调整后的过货速度对未来预设时长内所述第i个站点对应的机台的产品预测量进行预测；
根据所述第i个站点对应的机台的产品预测量，预测所述第i个站点对应的机台的负载预测量并输出。


2.根据权利要求1所述的机台负载的动态预测方法，其特征在于，所述获取第i个站点的标准过货速度，包括：
获取历史预设时间段内第i个站点的历史平均过货速度，作为所述第i个站点的标准过货速度。


3.根据权利要求1所述的机台负载的动态预测方法，其特征在于，所述获取预设敏感度调整系数，包括：
当所述第i个站点的实际在制品数量与所述第i个站点的标准在制品数量的差值处于预设范围时，获取第一敏感度调整系数，其中，所述第一敏感度调整系数与所述差值正相关；
当所述第i个站点的实际在制品数量与所述第i个站点的标准在制品数量的差值小于所述预设范围时，获取第二敏感度调整系数；
当所述第i个站点的实际在制品数量与所述第i个站点的标准在制品数量的差值大于所述预设范围时，获取第三敏感度调整系数。


4.根据权利要求1～3任一项所述的机台负载的动态预测方法，其特征在于，所述采用所述调整后的过货速度对未来预设时长内所述第i个站点对应的机台的产品预测量进行预测，包括：
根据所述第i个站点的实际在制品数量以及所述第i个站点的标准过货速度，计算所述第i个站点的过货时间；
当所述第i个站点的过货时间小于所述未来预设时长时，获取所述第i个站点之前的m个站点，其中，所述第i个站点的过货时间与所述第i个站点之前的m个站点的过货时间之和大于或等于所述未来预设时长，且所述第i个站点的过货时间与所述第i个站点之前的m-1个站点的过货时间之和小于所述未来预设时长；
计算在所述未来预设时长内，第i-m个站点的实际在制品数量；
获取在所述未来预设时长内的产品下线计划，确定预投放产品数量；
将所述未来预设时长内的所述预投放产品数量、所述第i个站点的实际在制品数量、所述第i个站点之前的m-1个站点的实际在制品数量及所述第i-m个站点的实际在制品数量之和作为所述第i个站点对应的机台在所述未来预设时长内的产品预测量。


5.根据权利要求1～3任一项所述的机台负载的动态预测方法，其特征在于，所述预测所述第i个站点对应的机台的负载预测量，包括：
计算所述第i个站点对应的机组的日产量，每个机组包括若干个机台；
根据所述第i个站点对应的机台的产品预测量以及所述第i个站点对应的机组的日产量，计算所述第i个站点对应的机组的负载预测量。


6.根据权利要求5所述的机台负载的动态预测方法，其特征在于，在输出所述第i个站点对应的机组的负载预测量之后，还包括：
根据所述第i个站点对应的机组的负载预测量，调整所述机组中对应的机台的工作状态。


7.一种机台负载的动态预测装置，其特征在于，包括：
第一获取单元，适于获取第i个站点的标准过货速度；
计算单元，适于根据所述第i个站点的标准过货速度，计算所述第i个...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘智慧，张瀛，何旭栋，田华，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31