【技术实现步骤摘要】
用于硅棒的自动干刷机
本申请涉及硅棒清洗领域,特别是一种用于硅棒的自动干刷机。
技术介绍
现有技术中,硅棒在切片之前需要对硅棒进行清洗,从而确保硅片质量,在清洗过程中,通常通过毛刷辊进行清洗,再对毛刷辊进行清洗烘干,耗时较长,影响清洗效率,并且毛刷辊直接清洗会出现受力不均导致表面清洗不干净的现象。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于硅棒的自动干刷机,以克服现有技术中的不足。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:本申请实施例公开了一种用于硅棒的自动干刷机,其特征在于:包括横向设置的轨道,所述轨道上滑动连接有平移机构,所述轨道下方设有毛刷辊和支撑架,所述毛刷辊设置在支撑架底部且通过轴承座与支撑架转动连接,所述支撑架内设有驱动毛刷辊的驱动装置,所述支撑架顶部通过升降机构与平移机构连接,所述轨道下方还设有清洗水槽,所述毛刷辊表面凹设有环形凹槽,所述环形凹槽与毛刷辊同轴设置。优选的,在上述的一种用于硅棒的自动干刷机中,所述升降机构为升降气缸。优选的,在上述的一种用于硅棒 ...
【技术保护点】
1.一种用于硅棒的自动干刷机,其特征在于:包括横向设置的轨道,所述轨道上滑动连接有平移机构,所述轨道下方设有毛刷辊和支撑架,所述毛刷辊设置在支撑架底部且通过轴承座与支撑架转动连接,所述支撑架内设有驱动毛刷辊的驱动装置,所述支撑架顶部通过升降机构与平移机构连接,所述轨道下方还设有清洗水槽,所述毛刷辊表面凹设有环形凹槽,所述环形凹槽与毛刷辊同轴设置。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于硅棒的自动干刷机,其特征在于:包括横向设置的轨道,所述轨道上滑动连接有平移机构,所述轨道下方设有毛刷辊和支撑架,所述毛刷辊设置在支撑架底部且通过轴承座与支撑架转动连接,所述支撑架内设有驱动毛刷辊的驱动装置,所述支撑架顶部通过升降机构与平移机构连接,所述轨道下方还设有清洗水槽,所述毛刷辊表面凹设有环形凹槽,所述环形凹槽与毛刷辊同轴设置。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅棒的自动干刷机,其特征在于:所述升降机构为升降气缸。
3.根据权利要求1所述的一种用于硅棒的自动干刷机,其特征在于:所述平移机构包括移动板、多个滚轮和横向气缸,多个所述滚轮设置在移动板底部且与轨道滚动连接,所述横向气缸固定在轨道上,所述横向气缸的输出端与移动板固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于硅...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈宏,何志明,丁晓,
申请(专利权)人:张家港市超声电气有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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