光纤束线列阵的制作方法技术

一种光纤束线列阵的制作方法，其中包括如下步骤：１）制作一光纤嵌入基板，该光纤嵌入基板为矩形且中间为一矩形方孔，在光纤嵌入基板的上面开有数个用于固定光纤的光纤定位槽；２）制作一盖板，该盖板与光纤嵌入基板的形状相同；３）将光纤依序放入光纤嵌入基板上的光纤定位槽中，盖上盖板并固定；４）取两与光纤嵌入基板上的矩形方孔形状相同的基片，使基片嵌入在光纤嵌入基板和盖板上的矩形方孔内；５）用胶将两基片与光纤粘合固定；６）将光纤嵌入基板和盖板分离移走，形成光纤束线列阵。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光电子
，为光学元件及其制造工艺，特别是指一种。
技术介绍
在医疗、泵浦、材料加工和处理等方面，需要更大的半导体激光器光纤耦合输出功率，而增大半导体激光器光纤耦合输出功率的一个有效方法是用一维光纤束线列阵实现大功率半导体激光器线列阵的光纤耦合输出。另外，由于宽带、高速通讯业务的急剧增加，需要将多根光纤排成光纤束列阵作为输入、输出接口。因此，光纤束线列阵作为一种光学元件，其应用越来越广泛。目前，通常采用两种方法制造一维光纤束线列阵。第一种方法是在特定晶向的硅基片上，采用制版、光刻、腐蚀等一系列半导体工艺，根据需要刻蚀出一定图形图案的V形、梯形或U形槽，将去掉涂覆层的裸露包层光纤排列于V形或U形槽内，然后在表面平放一基片，再用胶固化，见论文“A Fiber-Optic-Cable Connector”，C.M.Miller，Bell syst.Tech.J.1975 Vol.54，No.9，1547-1555。第二种方法是用激光束或等离子束在一定厚度的基片上打孔径稍大于光纤包层直径的圆孔列阵，将去掉涂覆层的裸露包层光纤一根一根地插入孔内，用UV紫外胶或环氧树脂胶合本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光纤束线列阵的制作方法，其特征在于：其中包括如下步骤：１）制作一光纤嵌入基板，该光纤嵌入基板为矩形且中间为一矩形方孔，在光纤嵌入基板的上面开有数个用于固定光纤的光纤定位槽；２）制作一盖板，该盖板与光纤嵌入基板的形状相同；３） 将光纤依序放入步骤１所述的光纤嵌入基板上的光纤定位槽中，盖上步骤２所述的盖板并固定；４）取两与光纤嵌入基板上的矩形方孔形状相同的基片，使基片嵌入在光纤嵌入基板和盖板上的矩形方孔内；５）用胶将两基片与光纤粘合固定；６）将光纤嵌入基 板和盖板分离移走，形成光纤束线列阵。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓薇，马骁宇，肖建伟，方高瞻，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]