可变形曲面镜制造技术

本发明专利技术公开了一种能通过向反射镜背面上的电极段施加电压而控制变形的可变形曲面镜。用夹在中间的至少一导电层（３４，３６）将两个电约束材料板（３０和３２），如ＰＺＴ或ＰＭＮ连接在一起。一个板具有一外导电层（４２）和一处于该导电层上的镜面（４８）。该导电层电接地。另一板在外表面上具有多个电极段（４０－Ｎ）的图案，每个电极段具有一单独接线端（４４－Ｎ），用于向其施加可变电压，单独通过每个所述电极段和通过至少另一板传输可变电流，导致该板发生可变膨胀，从而有选择地使该板变形，从而使该可变形曲面镜变形。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

技术实现思路
本专利技术涉及一种可变形曲面镜，能通过将电压施加给该反射镜而控制变形，具体涉及一种用于自适应光学系统的反射镜，自适应光学系统具有一波前探测器，用于控制曲面镜的变形。有多种自适应光学方法和装置，包括一用于探测光波波前中的象差，并校正或补偿这些象差的波前探测器，象差如影响通过望远镜观察恒星和行星的大气象差。现有探测和测量波前的方法和装置包括几种干涉测量技术，Shack-Hartmann波前探测技术以及包含通过光学系统投影光学图像的多种其它系统。这些现有技术和系统一般复杂而昂贵，并且具有多种固有缺陷。除了现有技术波前探测器的缺陷以外，对于自适应光学系统而言受这些探测器控制的可变形反射镜也包括若干缺陷。例如，堆叠激励反射镜包括大量安装在活动反射镜背面的推杆，并且通常用Shack-Hartmann波前探测器控制每个推杆的伸缩。Shack-Hartmann波前探测器测量波前的局部倾斜度，并用波前重建器拟合这些倾斜度，产生匹配所有倾斜度的连续表面。这类拟合无视激励器中的滞后作用，从而在反射镜表面上产生华夫饼干图案。推杆倾向于在每对相邻推杆之间的镜面上产生近似为一条直线的变形，从而在使用少本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种能通过施加电压控制变形的可变形曲面镜，包括：　　　　第一和第二平行电约束材料板，所述板具有通过导电层连接在一起的平行相邻内表面，该导电层夹在所述相邻内表面之间，所述导电层具有用于电接地的接线端；　　　　所述第一和第二板均具有沿相同方向取向的极性；　　　　所述第一板具有一平行于其所述内表面的外表面，在所述外表面上具有一镜面；以及　　　　所述第二板具有一平行于其所述内表面的外表面，在所述第二板外表面上具有电极段图案，每个所述段具有单独的接线端，用于向其施加可变电压，有选择地使该曲面镜变形。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：J埃隆格雷夫斯，马尔科姆J诺思科特，
申请(专利权)人：欧普蒂克斯技术公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]