【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种。
技术介绍
在驱动反射镜时，存在利用较小的驱动力较大地驱动反射镜的课题。为了解决这种课题，在特开2001-311900号公报中，提出了一种光扫描装置，其在反射镜的驱动方向的下面设置具有倾斜面的相对电极，在该倾斜面的倾斜方向上设置槽。对于驱动反射镜装置的驱动力，例如，在通过库仑力静电驱动的情况下，具有随着电极间距离的接近驱动力增加，而随着电极间距离的变远驱动力减少的距离决定。因此，利用特开2001-311900号公报的方式，考虑可以适用于倾斜平缓的情况，但是随着倾斜角加大，反射镜和相对电极的距离拉开，需要更大的驱动力，不能合适地解决利用较小的驱动力较大地驱动反射镜的课题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述课题作出的，其目的是提供一种能够利用较小的驱动力较大地驱动反射镜的。为解决上述课题，本专利技术涉及一种反射镜装置，其包括具有通过规定距离决定驱动力被驱动的反射镜的反射镜衬底，和支持该反射镜衬底的支持衬底；其特征在于所述反射镜衬底具有所述距离决定驱动力作用的同时，与所述反射镜整体地形成、设置在与所述反射镜不同的位置的至少一个第1反射镜侧作用部，和...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
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