磁性致动器制造技术

一种磁性致动器，包括：　　　　一永磁铁；　　　　一枢轴转动件，其位于由所述永磁铁产生的磁场中的倾斜磁场位置处，该倾斜磁场位置是从所述永磁铁的中心沿平行于该永磁铁顶表面的方向偏移一预定水平距离以及从该永磁铁的顶表面向上间隔一预定垂直距离；　　　　扭转绞链装置，以可在枢轴上转动的方式支撑所述枢轴转动件于其邻近所述永磁铁的中心的一端部；　　　　一移动件；以及　　　　驱动装置，用于驱动所述移动件；其中　　　　所述移动件被所述驱动装置驱动，在与由所述扭转绞链装置定义的枢轴线正交的方向上向该扭转绞链装置移动，以便进入在所述永磁铁和所述枢轴转动件之间的空间中；和　　　　所述枢轴转动件和所述移动件是铁磁性的；　　　　从而当该移动件被驱动朝着更接近所述枢轴转动件的方向移动时，通过产生于枢轴转动件和所述移动件之间的排斥力使得所述枢轴转动件在枢轴上转动。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于光学扫描仪等设备的磁性致动器(magnetic actuator)。
技术介绍
图9和图10图示了实践中采用的现有技术致动器的结构例子，该装置利用硅微机械加工技术制造，在日本专利申请公开No.6-180428的图11和图12中公开了此项技术。该致动器包括框架11、位于框架中的可动板12、和支撑并装配可动板12到框架11上的一对扭转绞链13，所有这些部件通过蚀刻硅而一体成型。框架11装配在基板15上，其间插入了绝缘隔板14，在与可动板12相对的基板15的表面上形成有一对固定电极16。可动板12作为可动电极使用，以便通过框架11和扭转绞链13将电压施加在固定电极16中的一个和可动板12之间时，在两者之间产生静电荷，以便将可动板12静电吸引至固定电极16，以使可动板12围绕着由扭转绞链对13所定义的轴转动。如图9和图10所示，在静电工作致动器中，需注意的是，当可动板12的旋转角度增加时，使该板旋转所需的电压也增加。换句话说，为了提供大的旋转角度(致动角度)，需要很大的驱动电压。另外，既然现有技术致动器被构造为将驱动电压施加在可动板12自身，因为存在例如由于电荷转移(d本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：则松俊英，
申请(专利权)人：日本航空电子工业株式会社，
类型：发明
国别省市：