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光导纤维和蚀刻的阵列波导管的对准制造技术

技术编号:2676506 阅读:248 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
通过在一组波导管中蚀刻槽而达到使两根或多根光导纤维对准于该组波导管的装置和方法。这两根或多根光导纤维通过一个夹持器而固定在一起,并安置在该组波导管的槽中。该组波导管中的通道被粗略地对准于这两根或多根光导纤维,并可以通过手动调整来更精细地对准。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

技术介绍
专利
本专利技术涉及光学领域。本专利技术尤其涉及将一光导纤维束接合于一平面光子学结构件,如一阵列波导管(“AWG”)的方法。相关技术描述光导纤维束和AWG两者用于光的传播。一个光导纤维束有多根传播光的光导纤维,而一个AWG有多个在其中传播光的通道。但是,使一个光导纤维束与AWG耦合并不容易。手动对准要求检测该光导纤维束和该AWG之间的光连通性并使该光连通性达到最大。一旦达到良好的连通,就要求将这种对准永久地固定。附图说明图1A表示一个现有技术的光导纤维束10。该光导纤维束10包括夹在两个夹持器16和18之间的多根光导纤维12。这些夹持器例如是用一合适的蚀刻掩模适当地掩蔽的用硅制成的衬底。其后,衬底的对称地间隔的未掩蔽区暴露于一种选定的各向异性的蚀刻剂如热的KOH或乙二胺。该蚀刻剂优选地腐蚀该硅衬底的一个选定的(100)晶面并优先地沿垂直方向蚀刻,直到获得V形槽。在完成这些V形槽后,将光导纤维安置在这些槽中并保持与夹持器16和18之间的V形槽的中心对准。图1B表示现有技术的一个没有光导纤维的单独的夹持器。两个夹持器16和18将光导纤维夹在一起,成为光导纤维束的终端块。该终端本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种使两根或多根光导纤维与一阵列波导管对准的方法,包括:在该阵列波导管中蚀刻槽;将该两根或多根光导纤维安置在这些槽中,其中这两根或多根光导纤维固定在一起。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:D克拉夫茨
申请(专利权)人:英特尔公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

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