半导体激光器安装对准和校准的方法技术

一种半导体激光器安装对准的方法，包括如下步骤：把烧结上激光器管芯的ＴＯ管壳固定在支架上，ＴＯ管壳的底平面贴紧支架以保证ＴＯ管壳的中心轴方向为ｙ方向；用一支准直的可见光激光器以与ｙ方向成θ角的方向，照射在半导体激光器芯片的晶体自然解理面（即激光器的出射腔面）上；在距离激光器出光腔面为Ｄ的地方固定一把尺子，使半导体激光器腔面反射的光会在尺子上显现出一个光点；在激光器发光面与管壳的中心轴垂直时，通过公式计算出尺子上的光点与反射的光点的距离；通过测量距离Ｅ，就可测量出激光器发光方向与ＴＯ管壳的中心轴的角度偏差ａ。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体
，特别是指一种光电子
中。
技术介绍
70年代以来，由于光导纤维技术和半导体激光器的重要突破，导致以光纤通讯、光纤传感、光信息存储、光信息处理与显示等为代表的光信息技术的蓬勃发展。反过来又促进了半导体激光器更为广泛的应用。而在半导体激光器的大部分应用中，均涉及到半导体激光器与光纤的耦合。如何提高激光器与光纤的耦合效率成为半导体激光器的关键技术。半导体激光器与光纤的耦合封装方式主要有同轴封装，双列直插，蝶形封装、带射频接口的封装等等。同轴封装具有寄生参数小、工艺简单、成本低等优点而广泛用于LED、LD和光接收器件和组件封装。整个同轴结构由TO管座，管帽，内套、外套以及内部光学系统构成，结构上下部有一致的同心度。半导体激光器在TO管座上的安装对同轴封装的耦合效率，成品率至关重要。一般来说，要求激光器的发光轴与TO管座的中心轴要完全重合。见图1。X，Y，Z方向的对准可以在高倍显微镜下通过对准标志的对准来实现，而角度方面的对准很难用显微镜来实现。因为角度偏差1-2度，耦合效率就会变化很大，乃至不能耦合出光。本专利技术通过激光器腔面反射光来探测发光方向的偏本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体激光器安装对准的方法，其特征在于，包括如下步骤：１）把烧结上激光器管芯的ＴＯ管壳固定在固定支架上，ＴＯ管壳的底平面贴紧固定支架以保证ＴＯ管壳的中心轴方向为ｙ方向；２）用一支准直的可见光激光笔以与ｙ方向成θ角的方向， 照射在半导体激光器芯片的晶体的出光腔面上；３）在距离激光器出光腔面为Ｄ的地方固定一把尺子，使半导体激光器出光腔面反射的光会在尺子上显现出一个光点；４）在激光器发光面与管壳的中心轴垂直时，可以确定基准点Ａ１；５）通过测 量距离Ｅ，就可计算出激光器发光方向与ＴＯ管壳的中心轴的角度偏差ａ；从反射光点的在...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵玲娟，边静，王圩，朱洪亮，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]