一种检测压力的磁膜传感器制造技术

技术编号:26762786 阅读:28 留言:0更新日期:2020-12-18 23:16
本实用新型专利技术公开了一种检测压力的磁膜传感器,由传感器壳体、设于传感器壳体内的弹性薄膜、设于弹性薄膜上的磁性材料块、设于传感器壳体内之弹性薄膜下方的PCB板、设于PCB板上的磁感应芯片、设于PCB板底部的信号传输针脚或信号传输连接线组成,传感器壳体的上面设有第一导气孔,PCB板设有第二导气孔。弹性薄膜置于传感器壳体的中部,将传感器壳体隔为上下两个腔体,两个腔体为弹性薄膜在压力作用下的形变空间。弹性薄膜由压力产生的振动或形变,磁感应芯片检测到磁场信号值经MCU单元输出压力信号值,或MCU单元通过与标定的压力值对比判断输出对应的控制信号。本方案设计的传感器可应用于电子烟、医疗器具的气管插管等产品上。

【技术实现步骤摘要】
一种检测压力的磁膜传感器
本技术涉及电子元器件
,特别是涉及一种检测压力的磁膜传感器。
技术介绍
压力传感器是用于感受压力信号,并按照一定规律将压力信号转换成可用的输出电信号的器件或装置。压力传感器被广泛应用于各种工业自动化控制环境中,如:水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主,以弹性元件的形变指示压力,但这种结构尺寸大、质量重,不能提供电学输出。随着半导体技术的发展,半导体压力传感器也应运而生。比较常见的有压阻式压力传感器,压阻式压力传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器,硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔,另一面是与大气连通的低压腔。硅膜片一般设计成周边固支的圆形,直径与厚度比约为20~60。在圆形硅膜片定域扩散4条P杂质电阻条,并接成全桥,其中两条位于压应力区,另两条处于拉应力区,相对于膜片中心对称。硅柱形敏感元件也是在硅本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测压力的磁膜传感器,其特征在于:该传感器由传感器壳体(1)、设于传感器壳体(1)内的弹性薄膜(4)、设于弹性薄膜(4)上的磁性材料块(3)、设于传感器壳体(1)内之弹性薄膜(4)下方的PCB板(8)、设于PCB板(8)上的磁感应芯片(7)、设于PCB板(8)底部的信号传输针脚或信号传输连接线(9)组成,传感器壳体(1)的上面设置有第一导气孔(11),PCB板(8)设置有第二导气孔(81);所述传感器壳体(1)为下端为开口的柱形壳体,弹性薄膜(4)置于传感器壳体(1)的中部,将传感器壳体(1)隔为上下两个腔体,两个腔体为弹性薄膜(4)在压力作用下的形变空间,弹性薄膜(4)的边沿与传感器...

【技术特征摘要】
1.一种检测压力的磁膜传感器,其特征在于:该传感器由传感器壳体(1)、设于传感器壳体(1)内的弹性薄膜(4)、设于弹性薄膜(4)上的磁性材料块(3)、设于传感器壳体(1)内之弹性薄膜(4)下方的PCB板(8)、设于PCB板(8)上的磁感应芯片(7)、设于PCB板(8)底部的信号传输针脚或信号传输连接线(9)组成,传感器壳体(1)的上面设置有第一导气孔(11),PCB板(8)设置有第二导气孔(81);所述传感器壳体(1)为下端为开口的柱形壳体,弹性薄膜(4)置于传感器壳体(1)的中部,将传感器壳体(1)隔为上下两个腔体,两个腔体为弹性薄膜(4)在压力作用下的形变空间,弹性薄膜(4)的边沿与传感器壳体(1)内壁密封布置,PCB板(8)安装于传感器壳体(1)的下端开口处,PCB板(8)的边沿与传感器壳体(1)的下端开口处密封布置。


2.根据权利要求1所述的一种检测压力的磁膜传感器,其特征在于:所述弹性薄膜(4)的上表面中心位置设置容置腔位,磁性材料块(3)设置于该容置腔位内,磁感应芯片(7)布置于PCB板(8)上中央位置,磁性材料块(3)正对与磁感应芯片(7)的上方。

【专利技术属性】
技术研发人员:柳子兴江泽锋裴璐
申请(专利权)人:深圳市云梦科讯科技有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1