【技术实现步骤摘要】
测量装置
本专利技术涉及一种测量装置。
技术介绍
在JP2005－223170A中公开一种高频特性测量装置，其具有：可升降的工作台，载置晶片，该晶片形成有作为测量对象的多个集成电路；以及高频探针装置，对集成电路的高频特性进行测量。在对测量对象的高频特性进行测量的测量装置中，当发生传输测量用的电信号的传输路径上的特性阻抗的不匹配时，会有测量精度降低的隐患。因此，要求测量装置以良好的精度匹配传输路径的特性阻抗来提高测量精度。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能以良好的精度测量高频特性的测量装置。根据本专利技术的某个方案，测量装置具备：第一接触件和第二接触件，被按压向测量对象，随着被按压向测量对象而发生变形；基部，安装有第一接触件和第二接触件；驱动机构，驱动基部，将第一接触件和第二接触件按压向测量对象；同轴传输部，传输电信号；以及传输基板，设有包含信号线和接地线的传输线路，将同轴传输部与第一接触件和第二接触件电连接，并且具有柔软性。根据本专利技术的另一个方案，测量装置具备：第一...
【技术保护点】
1.一种测量装置，其特征在于，具备：/n第一接触件和第二接触件，被按压向测量对象，随着被按压向所述测量对象而发生变形；/n基部，安装有所述第一接触件和所述第二接触件；/n驱动机构，驱动所述基部，将所述第一接触件和所述第二接触件按压向所述测量对象；/n同轴传输部，传输电信号；以及/n传输基板，设有包含信号线和接地线的传输线路，将所述同轴传输部与所述第一接触件和所述第二接触件电连接，并且具有柔软性。/n
【技术特征摘要】
20190905 JP 2019-161952;20190905 JP 2019-161953;201.一种测量装置，其特征在于，具备：
第一接触件和第二接触件，被按压向测量对象，随着被按压向所述测量对象而发生变形；
基部，安装有所述第一接触件和所述第二接触件；
驱动机构，驱动所述基部，将所述第一接触件和所述第二接触件按压向所述测量对象；
同轴传输部，传输电信号；以及
传输基板，设有包含信号线和接地线的传输线路，将所述同轴传输部与所述第一接触件和所述第二接触件电连接，并且具有柔软性。
2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，
所述第一接触件具有：
第一安装部，形成为平板状并安装于所述基部，并且与所述传输基板电连接；以及
第一端子部，被按压向所述测量对象，随着被按压向所述测量对象而优先于所述第一安装部发生弹性变形，
所述第二接触件具有：
第二安装部，形成为平板状并安装于所述基部，并且与所述传输基板电连接；以及
第二端子部，被按压向所述测量对象，随着被按压向所述测量对象而优先于所述第二安装部发生弹性变形。
3.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，
所述第一接触件和所述第二接触件以所述第一安装部和所述第二安装部相互平行且面对置的方式配置，
在所述传输基板的一个面形成有能与所述第二接触件的所述第二安装部电连接的所述信号线，在所述传输基板的另一个面形成有能与所述第一接触件的所述第一安装部电连接的所述接地线。
4.一种测量装置，其特征在于，具备：
第一接触件和第二接触件，分别被按压向测量对象；
传输部，传输电信号；
传输基板，将所述第一接触件和所述第二接触件与所述传输部之间电连接；以及
壳体，设定为接地电位，支承所述第一接触件、所述第二接触件、所述传输部以及所述传输基板，
在所述传输基板设有高频传输路，所述高频传输路包含与所述第一接触件电连接的接地线和与所述第二接触件电连接的信号线，
从所述传输部去往所述测量对象的电信号的接地传输路径通过导通线与所述壳体电连接。
5.根据权利要求4所述的测量装置，其特征在于，
所述导通线将构成所述接地传输路径的一部分的所述传输基板的所述接地线和所述壳体电连接。
6.根据权利要求5所述的测量装置，其特征在于，
所述壳体具有支承构件，所述支承构件设有供所述第一接触件和所述第二接触件插入的通过孔并支承所述测量对象，
所述导通线将所述接地线和所述支承构件电连接。
7.根据权利要求5或6所述的测量装置，其特征在于，
所述导通线与所述传输基板一体形成，与所述接地线连续。
8.根据权利要求7所述的测量装置，其特征在于，
所述第一接触件具有：
端子部，被按压向所述测量对象；以及
安装部，形成为具有与所述端子部对所述测量对象的按压方向平行的平坦面的平板状，与所述传输基板电连接，
所述导通线设于从所述传输基板的侧部分支出的分支部，
所述分支部以相对于与所述安装部的所述平坦面垂直的方向和平行的方向中的任一方向倾斜的角度连接于所述壳体。
9.一种测量装置，其特征在于，具备：
第一接触件和第二接触件，分别被按压向测量对象；
基部，安装有所述第一接触件和所述第二接触件；
传输部，传输电信号；
传输基板，将所述传输部与所述第一接触件和所述第二接触件电连接；
第一安装构件，将所述第一接触件安装至所述基部；以及
第二安装构件，将所述第二接触件安装至所述基部，
所述第一接触件和所述第二接触件中的至少一方被配置为与用于将自身安装至所述基部的所述第一安装构件或所述第二安装构件绝缘。
10.根据权利要求9所述的测量装置，其特征在于，
所述第一接触件和所述第二接触件中的至少一方被配置为通过绝缘构件与用于将自身安装至所述基部的所述第一安装构件或所述第二安装构件绝缘，所述绝缘构件设于所述第一接触件和所述第二接触件中的至少一方与所述第一安装构件或所述第二安装构件之间，由绝缘材料形成。
11.根据权利要求9所述的测量装置，其特征在于，
所述第一安装构件和所述第二安装构件中的至少一方被配置为由绝缘材料形成而与所述第一接触件或所述第二接触件绝缘。
12.根据权利要求9至11中任一项所述的测量装置，其特征在于，
所述第一接触件具有：
第一端子部，被按压向所述测量对象；以及
第一安装部，形成有供所述第一安装构件插通的第一安装孔，安装于所述基部，
所述第二接触件具有：
第二端子部，被按压向所述测量对象；以及
第二安装部，形成有供所述第二安装构件插通的第二安装孔，安装于所述基部。
13.根据权利要求12所述的测量装置，其特征在于，
所述第二接触件是设定于信号电位的信号电极，
在所述第二接触件的所述第二安装部形成有与所述第二安装孔连通并在所述第二接触件的外缘开口的缺口部。
14.根据权利要求12或13所述的测量装置，其特征在于，
所述第一接触件和所述第二接触件在与所述第一接触件和所述第二接触件对所述测量对象的按压方向垂直的规定的邻接方向上隔开间隔地并排设置，
所述第一端子部具有第一倾斜面，所述第一倾斜面在所述邻接方向上设于所述第二接触件的相反侧，相对于所述按压方向倾斜，
所述第二端子部具有第二倾斜面，所述第二倾斜面在所述邻接方向上设于所述第一接触件的相反侧，相对于所述按压方向倾斜，
所述第一安装孔的中心被配置为在所述邻接方向上比包含所述第一倾斜面的第一假想平面靠所述第二接触件侧，
所述第二安装孔的中心被配置为在所述邻接方向上比包含所述第二倾斜面的第二假想平面靠所述第一接触件侧。
15.一种测量装置...
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