激光超声扫描成像装置以及激光超声扫描成像系统制造方法及图纸

为解决上述技术问题，本申请提供一种激光超声扫描成像装置以及一种激光超声扫描成像系统，该激光超声扫描成像装置包括：脉冲激光器，用于发射脉冲激光；承载台，用于放置待测样品，所述待测样品在所述脉冲激光的激励下产生超声波；检测装置，用于对所述待测样品进行超声波检测；其中，所述承载台被配置为可沿预设轨迹移动，以使所述脉冲激光对所述待测样品进行扫描。本申请提供的激光超声扫描成像装置能够对体积或面积较大的待测样品进行检测。

【技术实现步骤摘要】
激光超声扫描成像装置以及激光超声扫描成像系统
本专利技术涉及激光超声无损检测
，特别涉及一种激光超声扫描成像装置以及激光超声扫描成像系统。
技术介绍
激光超声检测技术是利用激光来激发和检测超声的无损检测技术，与传统的压电超声技术相比，激光超声检测技术具有非接触、宽带以及点发射接收等优点。因此在材料表征、缺陷检测、加工过程监测，以及复杂形貌的工件或高温、高压、腐蚀、辐射等特殊环境下设备的检测或监测中得以应用。激光超声检测系统包括激光超声激励源和检测系统。激光超声激励源通过激光与被测材料直接作用，经过热弹效应或融蚀作用激发出以激光照射点为源的超声波。检测系统有多种方式，从理论上说凡是能检测振动的方法均可用于检测超声波，但受频率响应、分辨率、灵敏度、对被测表面和使用环境要求等的局限，常用的检测方法有压电换能器(例如锆钛酸铅压电陶瓷PZT)检测法和光学检测法。压电换能器检测法使用时要用耦合剂，对样品表面也有比较严格的要求。干涉法检测法是将试样表面直接用作迈克尔逊干涉仪测量臂中的反射镜，聚焦的激光束照射到试样表面，从表面反射光与由光源分离出本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光超声扫描成像装置，其特征在于，所述激光超声扫描成像装置包括：/n脉冲激光器，用于发射脉冲激光；/n承载台，用于放置待测样品，所述待测样品在所述脉冲激光的激励下产生超声波；/n检测装置，用于对所述待测样品进行超声波检测；/n其中，所述承载台被配置为可沿预设轨迹移动，以使所述脉冲激光对所述待测样品进行扫描。/n

【技术特征摘要】
1.一种激光超声扫描成像装置，其特征在于，所述激光超声扫描成像装置包括：
脉冲激光器，用于发射脉冲激光；
承载台，用于放置待测样品，所述待测样品在所述脉冲激光的激励下产生超声波；
检测装置，用于对所述待测样品进行超声波检测；
其中，所述承载台被配置为可沿预设轨迹移动，以使所述脉冲激光对所述待测样品进行扫描。


2.根据权利要求1所述的激光超声扫描成像装置，其特征在于，
所述预设轨迹包括多个采样点，所述承载台被配置为沿所述预设轨迹移动时，在每个所述采样点停留预设时间，以使所述检测装置进行超声波检测。


3.根据权利要求2所述的激光超声扫描成像装置，其特征在于，
所述多个采样点阵列分布。


4.根据权利要求1所述的激光超声扫描成像装置，其特征在于，
所述激光超声扫描成像装置还包括偏转组件，所述偏转组件设置于所述脉冲激光的光路上，用于调整所述脉冲激光的偏转角度。


5.根据权利要求4所述的激光超声扫描成像装置，其特征在于，
所述预设轨迹包括多个采样点，所述承载台被配置为沿所述预设轨迹移动时，在每个所述采样点停留预设时间，所述偏转组件被配置为在所述预设时间内调整所述脉冲激光的偏转角度，以使所述脉冲激光对包含所述采样点在内的设定区域内进行扫描。


6.根据权利要求5所述的激光超声扫描成像装置，其特征在于，
所述检测装置用于在每个所述设定区域的扫描期间，进行多次超声波检测以得到多个初始检测信号，并根据所述多个初始检测信号的平均值确定最终检测信号。


7.根据权利要求1所述的激光超声扫描成像装置，其特征在于，
所述检测装置包括：
激光发射器，用于发射检测激光；
激光接收器，用于接收所述待测样品反射所述检测激光形成的反射激光；
处理器...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭师峰，冯伟，黄林冰，陈丹，吴新宇，李叶海，曹欢庆，张树潇，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：发明
国别省市：广东;44