一种热场发射电子枪专用的振动测试装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种热场发射电子枪专用的振动测试装置，具体涉及使被测的热场发射电子枪产生振动并测量电子枪不同部位相对激励位置的微小振动位移，属于测试设备领域。本装置包括激光测振仪、测振仪调整座、隔振平台、试件夹持组件、激振器本体、固定台面、夹持‑加载机构、机架横梁、导轨支架、机架斜撑、斜撑座、加载杆、加载压板、加载挂架、导轨滑块模组、真空腔上盖、接线柱、真空腔体、观察窗、试件夹持套筒、抽真空管路接口。本发明专利技术还提供基于上述装置的一种热场发射电子枪专用的振动测试方法，通过简单的数据处理从试件与试件夹持套筒的测试结果中提取振动信息，配合上述装置使用，可使测试结果更贴近热场发射电子枪的实际工作条件。

【技术实现步骤摘要】
一种热场发射电子枪专用的振动测试装置及方法
本专利技术提供一种热场发射电子枪专用的振动测试装置及方法，它具体涉及使被测的热场发射电子枪产生振动并测量电子枪不同部位相对激励位置的微小振动位移，属于测试设备领域。
技术介绍
目前热场发射电子枪被广泛用于在高分辨率的扫描电子显微镜中生成电子束。扫描电子显微镜工作时可能受到各种工作振源的影响，使安装于其中的热场发射电子枪也随之产生振动并影响到显微镜的正常成像。对工作条件下热场发射电子枪振动特性的测试可以为扫描电子显微镜振动抑制方案的制定提供依据，而通用测试装置不能很好地模拟热场发射电子枪在扫描电子显微镜中独特的安装条件，测得的振动特性就存在偏差。
技术实现思路
针对上述不足，本专利技术提供了一种热场发射电子枪专用的振动测试装置及方法。本专利技术是通过以下技术方案实现的：一种热场发射电子枪专用的振动测试装置，它包括激光测振系统(1)、试件夹持组件(2)、激振器(3)三大部分；所述的激光测振系统(1)包括激光测振仪(1-1)、测振仪调整座(1-2)、隔振平台(1-3)；所述的试件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热场发射电子枪专用的振动测试装置，其特征在于：/n1)它包括激光测振仪(1-1)、测振仪调整座(1-2)、隔振平台(1-3)、试件夹持组件(2)、激振器本体(3-1)、固定台面(3-2)、夹持-加载机构(2-1)、机架横梁(2-2)、导轨支架(2-3)、机架斜撑(2-4)、斜撑座(2-5)、加载杆(2-1-1)、加载压板(2-1-2)、加载挂架(2-1-3)、导轨滑块模组(2-1-4)、真空腔上盖(2-1-5)、接线柱(2-1-6)、真空腔体(2-1-7)、观察窗(2-1-8)、试件夹持套筒(2-1-9)、抽真空管路接口(2-1-10)；各组成部分相互之间的关系是：试件夹持套筒(2-1...

【技术特征摘要】
1.一种热场发射电子枪专用的振动测试装置，其特征在于：
1)它包括激光测振仪(1-1)、测振仪调整座(1-2)、隔振平台(1-3)、试件夹持组件(2)、激振器本体(3-1)、固定台面(3-2)、夹持-加载机构(2-1)、机架横梁(2-2)、导轨支架(2-3)、机架斜撑(2-4)、斜撑座(2-5)、加载杆(2-1-1)、加载压板(2-1-2)、加载挂架(2-1-3)、导轨滑块模组(2-1-4)、真空腔上盖(2-1-5)、接线柱(2-1-6)、真空腔体(2-1-7)、观察窗(2-1-8)、试件夹持套筒(2-1-9)、抽真空管路接口(2-1-10)；各组成部分相互之间的关系是：试件夹持套筒(2-1-9)在真空腔体(2-1-7)内部并与之固连，观察窗(2-1-8)安装在真空腔体(2-1-7)侧面和底面并与之固连，抽真空管路接口(2-1-10)安装在真空腔体(2-1-7)侧面并与之固连，接线柱(2-1-6)部分穿过真空腔上盖(2-1-5)并与之固连，真空腔上盖(2-1-5)将真空腔体(2-1-7)的顶面封闭并与之固连；真空腔体(2-1-7)悬挂在加载挂架(2-1-3)内部并使用螺纹紧固件紧固，加载挂架(2-1-3)与导轨滑块模组(2-1-4)的滑块固连，加载杆(2-1-1)与加载挂架(2-1-3)固连，并由加载压板(2-1-2)进行加固；夹持-加载组件(2-1)通过导轨滑块模组(2-1-4)的导轨与导轨支架(2-3)固连，通过加载杆(2-1-1)与激振器本体(3-1)固连；导轨支架(2-3)和斜撑座(2-5)直接安装于隔振平台(1-3)上并使用螺纹紧固件紧固，机架斜撑(2-4)连接导轨支架(2-3)和斜撑座(2-5)，机架横梁(2-2)从所述装置的顶部连接两侧的导轨支架(2-3)；激光测振仪(1-1)安装在测振仪调整座(1-2)上并与之固连，测振仪调整座(1-2)安装于隔振平台(1-3)...

【专利技术属性】
技术研发人员：李万国，杜畅，孙郑义，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：北京;11