微型振荡元件及其驱动方法技术

技术编号:2675641 阅读:196 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种微型振荡元件包括:可移动主部件;第一框架和第二框架;和第一连接部件,连接该可移动主部件和该第一框架,并且限定用于该可移动主部件相对于该第一框架的第一旋转操作的第一旋转轴。该元件还包括第二连接部件,连接该第一框架和该第二框架,并且限定用于该第一框架和该可移动主部件相对于该第二框架的第二旋转操作的第二旋转轴。设有产生用于该第一旋转操作的驱动力的第一驱动机构。设有产生用于该第二旋转操作的驱动力的第二驱动机构。该第一旋转轴和该第二旋转轴不垂直。(*该技术在2024年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微型振荡元件,其中包括:可移动主部件;第一框架和第二框架;第一连接部件,连接该可移动主部件和该第一框架,并且限定用于该可移动主部件相对于该第一框架的第一旋转操作的第一旋转轴;第二连接部件,连接该第一框架和 该第二框架,并且限定用于该第一框架和该可移动主部件相对于该第二框架的第二旋转操作的第二旋转轴;第一驱动机构,产生用于该第一旋转操作的驱动力;和第二驱动机构,产生用于该第二旋转操作的驱动力; 其中该第一旋转轴和该第二旋 转轴不垂直。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:壶井修高马悟觉奥田久雄曾根田弘光宓晓宇上田知史佐脇一平中村义孝
申请(专利权)人:富士通株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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