反射镜平动式光栅光调制器及阵列制造技术

反射镜平动式光栅光调制器及阵列，光调制器包括：基底；基底之上形成的绝缘层和电极层；位于电极层之上由支撑梁支撑的可动平板，由施加到电极层上的偏压驱动做垂直向下移动；与基底固定的固定光栅，整体罩于多个由上述部件组成的结构单元形成阵列之上，固定光栅与电极层之间为可动平板移动的空间间隙。光栅光调制器在未加电压时，平板位于第一平面内，光强集中在衍射零级；通过电压驱动，平板垂直上下运动，位于第二平面，光强集中在衍射一级，由此实现对入射光束的不同调制，以提供不同的衍射光能量的分布。本调制器具有扩大器件的有效面积，实现光调制器的面阵结构，提高器件的光学衍射效率，简化器件的加工工艺等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光束调制装置，具体的说，本专利技术涉及一种反射镜平动式光栅光调制器及阵列，它是基于可动平板和固定光栅来实现对光束的不同调制，以提供不同的衍射光能量的分布，达到投影显示系统的要求。
技术介绍
现有技术已经公开了多种可以单独使用或与其他调制器一起使用的基于MEMS工艺的光调制器，这些调制器包括数字式微反射镜器件(DMD)及光栅光阀(GLV)等。在这类器件中，以数字式微反射镜器件(DMD)及光栅光阀(GLV)为代表，它们的商业应用已取得了巨大的成功。DMD是由MEMS技术制造的上百万个可偏转的反射微镜构成的调制器。DMD微镜的紧密间隙令投射的影像产生更细致的无缝画面，分析力高。但是DMD的缺陷在于，其复杂的多层结构导致制作过程复杂，良品率低下光栅光阀(GLV)是一种典型的微光机械系统，用于光开关或光衰减器等。GLV器件是通过衍射效应对光束起到开关或衰减的作用，而不是采用镜面放射或偏振调制。该器件是在硅基上构造多个悬浮在基底上的平行微带状物，这些带状物具有电耦合性，当为其提供一个电压时，可动带状物将向基底弯折，从而形成很好的衍射光栅。衍射光栅的光阀阵列具体包括一行彼此平行本文档来自技高网...

【技术保护点】
反射镜平动式光栅光调制器，其特征在于光调制器包括有：ａ基底；ｂ基底之上形成的绝缘层和电极层；ｃ位于电极层之上一定间距、由支撑梁支撑的可动平板，可动平板具有反射面，并由施加到支撑梁或电极层上的偏压驱动做垂直 上下移动；ｄ用于支撑可动平板的支撑梁，该支撑梁下部支撑在基底上，并镀有金属薄膜，具有电耦合性，使之同电极层之间形成可动的电容极板。ｅ一个固定光栅，该固定光栅罩于上述部件组成的结构单元之上，并与基底固定，固定光栅与电极 层之间为可动平板移动的空间间隙。ｆ驱动电路，通过电极引出线连...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄尚廉，伍艺，张洁，张智海，付红桥，闫许，
申请(专利权)人：重庆大学，
类型：发明
国别省市：85[中国|重庆]