测量扫描光的束斑的方法和装置制造方法及图纸

为了测量被光扫描设备以第一速度在第一方向上第一范围内偏转的光束的特性，提供了形成有至少一个缝隙的平板，该缝隙在与第一方向成一定角度的方向延伸并具有恒定的宽度。以足够低于第一速度的第二速度在第一方向上第一范围内移动平板。每当偏转光束穿过正在移动的缝隙时，检测通过缝隙的光的光功率的峰值，由此获得第一方向上多个位置处的峰值。在屏幕上共同显示峰值，显示的方式是屏幕上的位置对应于第一方向上的位置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及测量扫描光的束斑的方法和装置；更具体地，涉及能够连续测量并显示在主扫描方向和光前进方向上改变的诸如束斑形状之类的扫描光特性的方法和装置。
技术介绍
下面是公知的测量诸如束斑形状之类的扫描光特性的技术。Melles Griot Inc.制造的“Beam Alyzer”已经上市了，其中在转筒上提供刀口，基于入射光束经过刀口时的光能变化，来测量束斑的截面图和光斑大小。Photon Inc.制造的“光束扫描”也已上市，其中通过转筒上提供的狭缝类似地测量入射光束的聚焦条件。但是，这些装置只能测量稳定光束。另外，如果稳态和扫描态之间的光斑形状不同，则不能获得精确的结果。例如，如果在光偏转器(一种光扫描设备)中使用动态压力轴承电机，则轴在稳态与旋转态中的姿式实际上并不一样。而且，在传感器的光接收部分，精确定位光束的机制是必需的，并且需要一段时间用来执行定位操作。日本专利公开No.53-31147A公开了一种扫描光学系统，其中光束以不垂直于副扫描方向的角度入射到多面镜上。在这种光学系统中，光束趋于扭曲。日本专利公开No.64-13514A教导使用在副扫描方向延伸的垂直缝隙和向平行于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测量方法，包括如下步骤：提供光扫描设备，可操作来以第一速度在第一方向上第一范围内重复地偏转光束；提供形成有至少一个缝隙的平板，所述缝隙在与所述第一方向成一定角度的方向延伸并具有恒定的宽度；以第二速度在所述第一方向 上所述第一范围内移动所述平板，所述第二速度足够低于所述第一速度；每当所述偏转光束穿过正在移动的所述缝隙时，检测通过所述缝隙的光的光功率的峰值，由此获得所述第一方向上多个位置处的峰值；以及以下述方式将所述峰值共同显示在屏幕上， 所述方式即所述屏幕上的位置对应于所述第一方向上的位置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：井上望，宗和健，三井洋一，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]