飞行时间质谱分析装置制造方法及图纸

飞行管(246)为中空状，从离子射出部射出的离子被导入到该飞行管(246)。反射器(244)设置在飞行管(246)内，是将形成为环状的多个电极(244A、244B)同轴排列而构成的。真空腔室(247)在内部形成有在分析时成为真空状态的真空室(247A)，在真空室(247A)内设置有飞行管(246)。温度调节机构(248)对飞行管(246)进行温度调节。周围温度传感器(250)探测真空腔室(247)的外侧的周围温度。基于由周围温度传感器(250)探测出的周围温度来设定温度调节机构(248)的目标温度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】飞行时间质谱分析装置
本专利技术涉及一种具备被导入从离子射出部射出的离子的中空状的飞行管的飞行时间质谱分析装置。
技术介绍
在飞行时间质谱分析装置(TOFMS：TimeofFlightMassSpectrometer)中，从离子射出部射出作为分析对象的离子，该离子在中空状的飞行管内飞行之后，被检测器检测。由此，测定离子的直到到达检测器为止的飞行时间，根据该飞行时间来计算离子的质荷比m/z(例如，参照下述专利文献1)。飞行管由金属形成。因而，如果飞行管的周围的温度(周围温度)变化，则飞行管发生热膨胀或热收缩，由此离子在飞行管内的飞行时间发生变动，存在测定精度变差的问题。因此，一般进行以下操作：通过对飞行管进行温度调节，由此即使在周围温度发生了变化的情况下，也使飞行管保持固定温度。在该情况下，对飞行管进行温度调节时的目标温度被设定为固定温度(例如45℃)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2017-59385号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，在以本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种飞行时间质谱分析装置，其特征在于，具备：/n离子射出部，其射出作为分析对象的离子；/n中空状的飞行管，从所述离子射出部射出的离子被导入到该飞行管；/n反射器，其设置在所述飞行管内，是将形成为环状的多个电极同轴排列而构成的；/n真空腔室，其内部形成有在分析时成为真空状态的真空室，在该真空室内设置有所述飞行管；/n温度调节机构，其对所述飞行管进行温度调节；以及/n周围温度传感器，其探测所述真空腔室的外侧的周围温度，/n其中，能够基于由所述周围温度传感器探测出的周围温度来设定所述温度调节机构的目标温度。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种飞行时间质谱分析装置，其特征在于，具备：
离子射出部，其射出作为分析对象的离子；
中空状的飞行管，从所述离子射出部射出的离子被导入到该飞行管；
反射器，其设置在所述飞行管内，是将形成为环状的多个电极同轴排列而构成的；
真空腔室，其内部形成有在分析时成为真空状态的真空室，在该真空室内设置有所述飞行管；
温度调节机构，其对所述飞行管进行温度调节；以及
周围温度传感器，其探测所述真空腔室的外侧的周围温度，
其中，能够基于由所述周围温度传感器探测出的周围温度来设定所述温度调节机构的目标温度。


2.根据权利要求1所述的飞行时间质谱分...

【专利技术属性】
技术研发人员：工藤朋也，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP