主动式微型光纤连接器制造技术

一种属于光纤通信技术领域的主动式微型光纤连接器，本发明专利技术包括：单晶硅基体、Ｖ型槽、光纤、薄膜盖板、微驱动器和悬臂梁，Ｖ型槽依照晶相方向设在单晶硅基体上，薄膜盖板设在Ｖ型槽上方，微驱动器设在单晶硅基体上，微驱动器通过悬臂梁与薄膜盖板相连，光纤通过薄膜盖板的释放端被准直固定在Ｖ型槽中。本发明专利技术无需手动操纵盖板，操作的精度和调控能力得到显著提高，光纤可以直接放置到Ｖ型槽中，无需插拔操作，节省预留空间，减少光纤受损可能，提供光纤准直固定连接的高精度和高可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及的是一种光纤通信
的器件，具体地说，是一种主动式微型光纤连接器。
技术介绍
光纤通信已经成为大容量信息传输的主要技术途径，它的传输媒介就是光纤，光纤的固定与连接大量存在于通讯光路中，因此，光纤连接器是使用最广泛的无源器件之一，它以低损耗的方法把光纤或光缆相互连接起来，以实现光路的接续。目前的光纤连接器主要有FC型(螺纹连接式)、SC型(直插式)和ST型(卡扣式)3种。随着光纤接入网的发展，光缆密度和光纤配线架上连接器密度不断增加，对光纤固定连接机构的要求越来越高，前述各种连接器已显示出体积过大、价格太贵的缺点。与传统的精密机械技术相比，微机械技术(MEMS)借鉴半导体工艺发展起来的超精密集成加工工艺，具有加工精度高、零件尺寸小、预先对准无需装配等更为优越的加工能力，特别适合微光学器件与系统的研究开发，拥有潜在的低成本批量制造能力，更可以与一些微光学器件的尺寸和结构相匹配。因此，它是光学精密制造的利器，将MEMS技术引入活动光纤固定连接机构的设计也已经获得初步的成功。经对现有技术文献的检索发现，英国剑桥大学的Bostock R.M、Collier J.D等人在J本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种主动式微型光纤连接器，包括：单晶硅基体（１）、Ｖ型槽（２）、光纤（３）、薄膜盖板（４），其特征在于，还包括：微驱动器（５）和悬臂梁（６），Ｖ型槽（２）依照晶相方向设在单晶硅基体（１）上，薄膜盖板（４）设在Ｖ型槽（２）上方，微驱动器（５）设在单晶硅基体（１）上，微驱动器（５）通过悬臂梁（６）与薄膜盖板（４）相连，光纤（３）通过薄膜盖板（４）的释放端被准直固定在Ｖ型槽（２）中。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：丁桂甫，蔡玉丽，顾东华，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]