半导体设备、半导体工艺电源控制系统及方法技术方案

本发明专利技术提供一种半导体设备、半导体工艺电源控制系统及方法，该半导体工艺电源控制方法包括：接收电源启动信号，控制电源进入可用状态并输出功率；同时启动计时器，开始计时；判断计时时长是否达到定时时间段；若所述计时时长达到了所述定时时间段，则控制所述电源进入禁用状态并停止输出功率。通过本发明专利技术，可以有效控制电源，避免工艺损失。

【技术实现步骤摘要】
半导体设备、半导体工艺电源控制系统及方法
本专利技术涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种半导体设备、半导体工艺电源控制系统及方法。
技术介绍
物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，以下简称PVD)中等离子溅射源由大功率直流电源提供能量，由大量高性能钕铁硼磁铁经过排列组成特定形状并具备旋转能力的磁控管在PVD腔室内形成高金属离子比率的高密度等离子体，并对高纯度的溅射靶材进行轰击以进行薄膜沉积工艺。目前工艺过程中下位机(即通常使用的用于控制工艺设备的计算设备)通过设备网将开启、功率设置等指令下发给直流电源，若直流电源开启后出现设备网通信异常，软件计时到达后下位机无法将关闭信号下发给直流电源，也不能快速及时地终止直流电源输出，因此可能会出现因直流电源功率加载时间过长导致镀膜过厚，从而造成损失。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种半导体设备、半导体工艺电源控制系统及方法，可以使工艺过程中，当工艺控制设备与电源通信故障时可以有效控制电源的输出，避免工艺损失。为实现本专利技术的目的而提供一种半导体工艺电源控制方法，所述方法包括：接收电源启动信号，控制电源进入可用状态并输出功率；同时启动计时器，开始计时；判断计时时长是否达到定时时间段；若所述计时时长达到了所述定时时间段，则控制所述电源进入禁用状态并停止输出功率。优选地，在所述接收电源启动信号，控制电源进入可用状态并输出功率之前，还包括：r>接收定时时间段通知信息，解析所述定时时间段通知信息，获取所述定时时间段。优选地，还包括：若所述计时时长未达到所述定时时间段，则判断是否接收到了电源停止信号；若接收到了所述电源停止信号，则控制所述电源保持在所述可用状态但停止输出功率，并重置所述计时器；若未接收到所述电源停止信号，则控制所述电源保持在所述可用状态并持续输出功率。优选地，在所述控制所述电源进入禁用状态并停止输出功率之后，还包括：判断是否接收到了电源停止信号；若接收到了所述电源停止信号，则控制所述电源重新进入所述可用状态但停止输出功率，并重置所述计时器；若未接收到所述电源停止信号，则循环判断是否接收到了所述电源停止信号。一种半导体工艺电源控制系统，包括：工艺控制设备以及电源，还包括：分别与所述工艺控制设备、所述电源连接的控制装置；所述控制装置具有计时器；所述工艺控制设备用于向所述控制装置发送电源启动信号；所述控制装置用于在接收到所述电源启动信号时，控制所述电源进入可用状态并输出功率；同时启动所述计时器，开始计时，在所述计时器的计时时长达到了定时时间段时，控制所述电源进入禁用状态并停止输出功率。优选地，所述工艺控制设备还用于向所述控制装置发送含有所述定时时间段的时间段通知信息；所述控制装置还用于在接收到所述定时时间段通知信息时，解析所述定时时间段通知信息，获取所述定时时间段。优选地，所述工艺控制设备还用于向所述控制装置发送电源停止信号；所述控制装置还用于在所述计时时长未达到所述定时时间段，且接收到了电源停止信号时，控制所述电源保持在所述可用状态但停止输出功率，并重置所述计时器；在所述计时时长未达到所述定时时间段，且未接收到所述电源停止信号时，控制所述电源保持在所述可用状态并持续输出功率。优选地，所述工艺控制设备还用于向所述控制装置发送电源停止信号；所述控制装置还用于在所述电源进入禁用状态并停止输出功率，且接收到了所述电源停止信号时，控制所述电源重新进入所述可用状态但停止输出功率，并重置所述计时器；在所述电源进入禁用状态并停止输出功率，且未接收到所述电源停止信号时，循环判断是否接收到了所述电源停止信号。优选地，所述工艺控制设备还用于向所述电源发送设定功率值；所述电源还用于在接收到所述设定功率值时，按所述设定功率值输出功率。一种半导体设备，所述半导体设备包括半导体工艺电源控制系统，所述半导体工艺电源控制系统采用本申请中所述的半导体工艺电源控制系统。本专利技术具有以下有益效果：本专利技术提供的半导体工艺电源控制方法及系统，可以根据工艺控制设备的电源启动信号进行定时，一旦达到定时时间段，则自动关断电源的输出，在出现通信异常时也可以做到关断电源的输出，从而可以避免工艺损失。附图说明图1为本专利技术实施例提供的半导体工艺电源控制方法的第一种流程图；图2为本专利技术实施例提供的半导体工艺电源控制方法的第二种流程图；图3为本专利技术实施例提供的半导体工艺电源控制方法的第三种流程图；图4为本专利技术实施例提供的半导体工艺电源控制方法的第四种流程图；图5为本专利技术实施例提供的半导体工艺电源控制系统的结构示意图。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图来对本专利技术提供的半导体设备、半导体工艺电源控制系统及方法进行详细描述。实施例一如图1所示为本专利技术实施例提供的半导体工艺电源控制方法的第一种流程图，本实施例中半导体工艺电源控制方法包括以下步骤：步骤S1：接收电源启动信号，控制电源进入可用状态并输出功率。具体地，本实施例中，控制电源进入可用状态是指电源可以获取到控制信号，如电源启动信号、电源停止信号等，并根据控制信号进行工作。步骤S2：同时启动计时器，开始计时。步骤S3：判断计时时长是否达到定时时间段；若是，执行步骤S4；若否，返回执行步骤S3。具体地，定时时间段是由工艺条件确定，不同的工艺对电源的定时具有不同要求。步骤S4：控制电源进入禁用状态并停止输出功率。具体地，本实施例中，控制电源进入禁能状态是指使电源停止工作，此时电源无法获取到任何控制信息；当然，在一定条件下还可以重新接通电源的输出，使电源重新进入可用状态，开始正常工作。本专利技术实施例提供的半导体工艺电源控制方法可以根据电源启动信号进行定时，一旦达到定时时间段，则自动关断电源的输出，在出现通信异常时也可以做到关断电源的输出，从而可以避免工艺损失。实施例二如图2所示为本专利技术实施例提供的半导体工艺电源控制方法的第二种流程图，本实施例中半导体工艺电源控制方法包括以下步骤：步骤100：接收定时时间段通知信息，解析定时时间段通知信息，获取定时时间段。步骤101：接收电源启动信号，控制电源进入可用状态并输出功率。步骤102：同时启动计时器，开始计时。步骤103：判断计时时长是否达到定时时间段；若是，执行步骤104；若否，返回执行步骤103。步骤104：控制电源进入禁用状态并停止输出功率。本专利技术实施例中，在执行步骤101之前，还可以接收定时时间段通知信息，解析定时时间段通知信息，获取定时时间段。这一步骤可以提前执行，即可以在通信正常时，提前下发定时本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体工艺电源控制方法，其特征在于，包括：/n接收电源启动信号，控制电源进入可用状态并输出功率；/n同时启动计时器，开始计时；/n判断计时时长是否达到定时时间段；/n若所述计时时长达到了所述定时时间段，则控制所述电源进入禁用状态并停止输出功率。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体工艺电源控制方法，其特征在于，包括：
接收电源启动信号，控制电源进入可用状态并输出功率；
同时启动计时器，开始计时；
判断计时时长是否达到定时时间段；
若所述计时时长达到了所述定时时间段，则控制所述电源进入禁用状态并停止输出功率。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述接收电源启动信号，控制电源进入可用状态并输出功率之前，还包括：
接收定时时间段通知信息，解析所述定时时间段通知信息，获取所述定时时间段。


3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，还包括：
若所述计时时长未达到所述定时时间段，则判断是否接收到了电源停止信号；
若接收到了所述电源停止信号，则控制所述电源保持在所述可用状态但停止输出功率，并重置所述计时器；
若未接收到所述电源停止信号，则控制所述电源保持在所述可用状态并持续输出功率。


4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在所述控制所述电源进入禁用状态并停止输出功率之后，还包括：
判断是否接收到了电源停止信号；
若接收到了所述电源停止信号，则控制所述电源重新进入所述可用状态但停止输出功率，并重置所述计时器；
若未接收到所述电源停止信号，则循环判断是否接收到了所述电源停止信号。


5.一种半导体工艺电源控制系统，包括：工艺控制设备以及电源，其特征在于，还包括：分别与所述工艺控制设备、所述电源连接的控制装置；
所述控制装置具有计时器；
所述工艺控制设备用于向所述控制装置发送电源启动信号；
所述控制装置用于在接收到所述电源启动信号时，控制所述电源进入可用状态并输出功率；同时启动所述计时器，开始计时，在所述计时器的计时时长达...

【专利技术属性】
技术研发人员：张瑶，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11