半导体设备、半导体工艺电源控制系统及方法技术方案

本发明专利技术提供一种半导体设备、半导体工艺电源控制系统及方法，该半导体工艺电源控制方法包括：接收电源启动信号，控制电源进入可用状态并输出功率；同时启动计时器，开始计时；判断计时时长是否达到定时时间段；若所述计时时长达到了所述定时时间段，则控制所述电源进入禁用状态并停止输出功率。通过本发明专利技术，可以有效控制电源，避免工艺损失。

【技术实现步骤摘要】
半导体设备、半导体工艺电源控制系统及方法
本专利技术涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种半导体设备、半导体工艺电源控制系统及方法。
技术介绍
物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，以下简称PVD)中等离子溅射源由大功率直流电源提供能量，由大量高性能钕铁硼磁铁经过排列组成特定形状并具备旋转能力的磁控管在PVD腔室内形成高金属离子比率的高密度等离子体，并对高纯度的溅射靶材进行轰击以进行薄膜沉积工艺。目前工艺过程中下位机(即通常使用的用于控制工艺设备的计算设备)通过设备网将开启、功率设置等指令下发给直流电源，若直流电源开启后出现设备网通信异常，软件计时到达后下位机无法将关闭信号下发给直流电源，也不能快速及时地终止直流电源输出，因此可能会出现因直流电源功率加载时间过长导致镀膜过厚，从而造成损失。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种半导体设备、半导体工艺电源控制系统及方法，可以使工艺过程中，当工艺控制设备与电源通信故障时可以有效控制电源的输出，避免工艺损失。...

【技术保护点】
1.一种半导体工艺电源控制方法，其特征在于，包括：/n接收电源启动信号，控制电源进入可用状态并输出功率；/n同时启动计时器，开始计时；/n判断计时时长是否达到定时时间段；/n若所述计时时长达到了所述定时时间段，则控制所述电源进入禁用状态并停止输出功率。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体工艺电源控制方法，其特征在于，包括：
接收电源启动信号，控制电源进入可用状态并输出功率；
同时启动计时器，开始计时；
判断计时时长是否达到定时时间段；
若所述计时时长达到了所述定时时间段，则控制所述电源进入禁用状态并停止输出功率。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述接收电源启动信号，控制电源进入可用状态并输出功率之前，还包括：
接收定时时间段通知信息，解析所述定时时间段通知信息，获取所述定时时间段。


3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，还包括：
若所述计时时长未达到所述定时时间段，则判断是否接收到了电源停止信号；
若接收到了所述电源停止信号，则控制所述电源保持在所述可用状态但停止输出功率，并重置所述计时器；
若未接收到所述电源停止信号，则控制所述电源保持在所述可用状态并持续输出功率。


4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在所述控制所述电源进入禁用状态并停止输出功率之后，还包括：
判断是否接收到了电源停止信号；
若接收到了所述电源停止信号，则控制所述电源重新进入所述可用状态但停止输出功率，并重置所述计时器；
若未接收到所述电源停止信号，则循环判断是否接收到了所述电源停止信号。


5.一种半导体工艺电源控制系统，包括：工艺控制设备以及电源，其特征在于，还包括：分别与所述工艺控制设备、所述电源连接的控制装置；
所述控制装置具有计时器；
所述工艺控制设备用于向所述控制装置发送电源启动信号；
所述控制装置用于在接收到所述电源启动信号时，控制所述电源进入可用状态并输出功率；同时启动所述计时器，开始计时，在所述计时器的计时时长达...

【专利技术属性】
技术研发人员：张瑶，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11