【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微机电系统（ＭＥＭＳ）二维振镜，该装置包括一个驱动层和一个振镜层，其特征在于：所述驱动层包括衬底、驱动电极、导线焊接点及着陆电极，所有电极以中心为原点，两两相对，并由相应的导线连接到焊接点；所述振镜层由振镜、框架、悬臂、着陆支点以及反射层组成，其框架固定于驱动层上，中间可以通过绝缘层使框架与驱动层保持绝缘。
【技术特征摘要】
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