反射镜及其制造方法技术

本发明专利技术揭示一种反射镜及其制造方法。上述反射镜包含：一玻璃基板；一中间层，于上述玻璃基板上，上述中间层大体上由氧化铝组成；一银反射层，于上述中间层上；以及一保护层，于上述银反射层上。本发明专利技术的是在银反射层与基板之间形成一层大体上由氧化铝组成的中间层以增加银反射层的附着性，以提升反射镜的可靠度。本发明专利技术另在银反射层的表面形成一保护层，避免因空气污染或水滴附着而污染银反射层的表面，以提升反射镜的有效反射率、实用性与可靠度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于一种反射镜，特别是关于一种镀银反射镜的镀层结构，具体为一种。
技术介绍
在相机或投影机等光学产品中，其光传递路径中往往会使用反射镜。由于银在可见光区与红外光区都具有很高的反射率，往往用于反射镜中，成为其反射层。然而，银和反射镜的附着性不佳，且曝露在空气中的银反射层，往往会和空气污染物中硫化氢、二氧化硫或其他含硫分子发生反应而使其表面黑化；另外，因温度、湿气的遽变或是其他人为或非人为因素的影响，会造成水滴附着而在银反射层的表面，而在表面上留下白色斑点；上述问题对于具银反射层的反射镜在实用性及可靠度方面均造成不良影响。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的主要目的是提供一种，以改善银反射层与基板之间的附着性，提升反射镜的可靠度。本专利技术的另一目的在于提供一种，避免因空气污染或水滴附着而污染银反射层的表面，以提升反射镜的有效反射率、实用性、与可靠度。为达成本专利技术的上述目的，本专利技术是提供一种反射镜，包含一玻璃基板；一中间层，于上述玻璃基板上，上述中间层大体上由氧化铝组成；一银反射层于上述中间层上；以及一保护层，于上述银反射层上。本专利技术所述的反射镜，该中间层的厚度为10～1000nm。本专利技术所述的反射镜，该保护层包含氧化铝。本专利技术所述的反射镜，该保护层的厚度为10～100nm。本专利技术所述的反射镜，该保护层包含一多层的增反射层，具有彼此交错的至少一高折射系数薄膜与至少一低折射系数薄膜。本专利技术所述的反射镜，该增反射层的厚度为10～1000nm。本专利技术所述的反射镜，该高折射系数薄膜的折射率为不小于1.7，该低折射系数薄膜的折射率为1.3～1.5。本专利技术所述的反射镜，该保护层更包含第二氧化铝层于该银反射层上；以及一多层的增反射层于该第二氧化铝层上，该增反射层具有彼此交错的至少一高折射系数薄膜与至少一低折射系数薄膜。本专利技术所述的反射镜，该第二氧化铝层的厚度为10～100nm；该增反射层的厚度为10～1000nm。本专利技术所述的反射镜，该高折射系数薄膜的折射率为不小于1.7，该低折射系数薄膜的折射率为1.3～1.5。本专利技术是又提供一种反射镜的制造方法，包含提供一玻璃基板；以蒸镀、离子束辅助镀膜或溅镀法，形成大体上由氧化铝组成的一中间层于上述玻璃基板上，上述中间层大体上由氧化铝组成；形成一银反射层于上述中间层上；以及以蒸镀、离子束辅助镀膜或溅镀法，形成一保护层，于上述银反射层上。本专利技术所述的反射镜的形成方法，该中间层的厚度为10～1000nm。本专利技术所述的反射镜的形成方法，该保护层包含氧化铝。本专利技术所述的反射镜的形成方法，该保护层的厚度为10～100nm。本专利技术所述的反射镜的形成方法，该保护层包含一多层的增反射层，具有彼此交错的至少一高折射系数薄膜与至少一低折射系数薄膜。本专利技术所述的反射镜的形成方法，该增反射层的厚度为10～1000nm。本专利技术所述的反射镜的形成方法，该高折射系数薄膜的折射率为不小于1.7，该低折射系数薄膜的折射率为1.3～1.5。本专利技术所述的反射镜的形成方法，形成该保护层更包含形成第二氧化铝层于该银反射层上；以及形成一多层的增反射层于该第二氧化铝层上，该增反射层具有彼此交错的至少一高折射系数薄膜与至少一低折射系数薄膜。本专利技术所述的反射镜的形成方法，该第二氧化铝层的厚度为10～100nm；该增反射层的厚度为10～1000nm。本专利技术所述的反射镜的形成方法，该高折射系数薄膜的折射率为不小于1.7，该低折射系数薄膜的折射率为1.3～1.5。本专利技术的特征之一，是在银反射层与基板之间形成一层大体上由氧化铝组成的中间层以增加银反射层的附着性，以提升反射镜的可靠度。本专利技术的特征之二，是在银反射层的表面形成一保护层，避免因空气污染或水滴附着而污染银反射层的表面，以提升反射镜的有效反射率、实用性与可靠度。附图说明图1为一剖面图，是显示本专利技术第一实施例的反射镜；图2为一剖面图，是显示本专利技术第二实施例的反射镜；图3为一剖面图，是显示本专利技术第三实施例的反射镜。具体实施例方式为了让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举三较佳实施例，并配合所附图示，作详细说明如下第一实施例请参考图1，为一剖面图，是显示本专利技术第一实施例的反射镜。其结构包含依序形成的基板100、中间层110、银反射层120与保护层130。基板100，较好为使用玻璃底材，可适用以较简单的制程及/或较便宜的材料于其上形成中间层110。基板100亦可以使用树脂基板，此时在形成中间层110之前必须先形成一氧化硅薄膜于基板100上，以提升树脂基板与中间层110之间的附着力，会需要较繁复的制程步骤与材料。中间层110，较好为大体上由氧化铝所组成，可用以提升基板100与后续形成的银反射层120之间的附着性，特别在使用玻璃基板，其效果更为明显。中间层110的厚度较好为10～1000nm，厚度太薄时，容易镀膜不均而使其增加银反射层120的附着性的效果降低；厚度太厚时，除了增加制程时间与材料成本之外，在形成中产生裂缝、气孔等缺陷的机率也随之增加，反而造成容易剥落的副作用。另外，亦可以使用氧化铝与过渡元素金属氧化物的混合物作为中间层110，但是其制程较为复杂且过渡元素金属的取得成本较高。形成于银反射层120上的保护层130，是用以保护银反射层120，使其免受空气中的硫、水或其他污染成分的侵袭，而使银反射层120得以长久维持其固有的光反射效能。保护层130可以是单一的氧化铝层、多个薄膜所组成的复合层或是其他足以保护银反射层120的材料。在本实施例中，保护层130为氧化铝，其厚度可视需求例如使用地区的环境状况或其他因素来作选择，例如为10～100nm。在本实施例的反射镜的制造方面，首先，提供前述的基板100，并视需求可对基板100施以前期加工，除去表面缺陷，并达成适当的表面粗糙度、表面曲率或是其他反射镜所需要的条件。接下来，可以使用真空镀膜法(例如蒸镀、离子束辅助镀膜、溅镀、反应式溅镀)或其他成膜方法，在基板100上形成前述的中间层110，其厚度控制可借由调整制程参数例如镀膜时间等方式来达成。接下来，于中间层110上形成银反射层120，其方式可视需求选择真空镀膜法(例如蒸镀、离子束辅助镀膜、溅镀)或其他成膜方法。最后，可以使用蒸镀、离子束辅助镀膜、溅镀(例如反应式溅镀)等成膜方法，在银反射层120上形成前述的保护层130，其厚度控制可借由调整制程参数例如镀膜时间等方式来达成。第二实施例请参考图2，为一剖面图，是显示本专利技术第二实施例的反射镜。与第一实施例比较，本实施例是以保护层140来取代第一实施例的保护层130。因此，关于基板100、中间层110与银反射层120的叙述可参考第一实施例，在此便予以省略。在本实施例中，保护层140包含多层的增反射层，除了能够保护银反射层120，使其免受空气中的硫、水或其他污染成分的侵袭之外，亦具有提升反射率的效果。保护层140包含彼此交错的至少一高折射系数薄膜141与低折射系数薄膜142，是利用多层膜干涉原理而成的高反射率多层结构，进而提升本专利技术的反射镜的反射率。高、低折射系数薄膜141、142的顺序与数量是可视使用者的需求而定，先形成高折射系数薄膜141或是先形成低折射系数薄膜142皆可，而不限于图2所绘示的数量与顺序。而所谓“本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种反射镜，其特征在于所述反射镜包含：一玻璃基板；一中间层，于该玻璃基板上，该中间层主要由氧化铝组成；一银反射层，于该中间层上；以及一保护层，于该银反射层上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄玟豪，黄建铭，
申请(专利权)人：亚洲光学股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]