用于制造无接缝的大面积压印的方法和设备技术

本公开内容的实施方式一般涉及压印光刻，且更具体地涉及用于制造无接缝的大面积压印的方法和设备。本文公开的方法一般包括将印模或产品中的特征的固化时间与接缝和周边的固化时间分开。接缝和周边可以首先固化，或者接缝和周边可以最后固化。另外，接缝固化操作可以在主板、印模上或最终产品上进行。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于制造无接缝的大面积压印的方法和设备
本公开内容的实施方式一般涉及压印光刻，且更具体地涉及用于制造无接缝的大面积压印的方法和设备。
技术介绍
压印光刻是一种接触图案化方法，可用于制造纳米级的图案。一般而言，压印光刻起始于制造图案的模板。将例如光刻胶的液体沉积在基板上以进行图案化。然后，将图案化模板施压在液体上，以压印图案在基板上。然后将图案化的基板固化，以硬化基板上光刻胶的图案。然而，传统的压印光刻方法和设备具有各种挑战。例如，传统的压印光刻方法不适用于大面积基板(大于300mm)，例如显示装置，因为传统使用的主板(master)不够大故无法对大面积显示器进行图案化。因此，一些传统的压印方法使用多个主板，这些主板彼此粘附在一起。然而，接缝会形成于主板之间和周边处，然后被转移到基板上的图案。接缝和周边处的图案化不规则性可导致装置效率降低甚至装置故障。例如，在导光板(lightguidepanel,LGP)的情况下，当接缝压印到LGP中时，会成为一种表面特征将光引导至LGP外或将光外耦合至LGP外。在液晶显示器(liquidcrystal本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压印光刻方法，包括：/n由粘附至背板上的多个主板压印印模材料，以形成印模，每个主板上具有多个特征，且所述多个主板的每对主板之间具有接缝；/n将掩模定位在紫外线光源与所述印模材料之间；和/n将所述印模材料暴露于来自所述紫外线光源的紫外线光，以形成所述印模材料的固化部分和未固化部分。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180319 US 15/924,7631.一种压印光刻方法，包括：
由粘附至背板上的多个主板压印印模材料，以形成印模，每个主板上具有多个特征，且所述多个主板的每对主板之间具有接缝；
将掩模定位在紫外线光源与所述印模材料之间；和
将所述印模材料暴露于来自所述紫外线光源的紫外线光，以形成所述印模材料的固化部分和未固化部分。


2.如权利要求1所述的方法，其中所述印模材料的所述固化部分对应于所述多个主板中的每对主板之间的所述接缝。


3.如权利要求1所述的方法，其中所述印模材料的所述未固化部分对应于所述多个主板中的每对主板之间的所述接缝。


4.如权利要求1所述的方法，其中将所述印模材料暴露于来自所述紫外线光源的紫外线光以形成所述印模材料的所述固化部分和所述未固化部分的步骤，发生在由粘附至所述背板的所述多个主板压印所述印模材料以形成所述印模的步骤前。


5.如权利要求1所述的方法，其中将所述印模材料暴露于来自所述紫外线光源的紫外线光以形成所述印模材料的所述固化部分和所述未固化部分的步骤，发生在由粘附至所述背板的所述多个主板压印所述印模材料以形成所述印模的步骤后。


6.如权利要求1所述的方法，进一步包括：
将具有所述固化和所述未固化部分的所述印模材料暴露于来自所述紫外线光源的额外紫外线光，以固化所述印模材料的所述未固化部分。


7.如权利要求1所述的方法，进一步包括：
洗掉所述印模材料的所述未固化部分。


8.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：凯文·劳顿·坎宁安，曼尼瓦南·托塔德里，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US