用于光显微镜的光束成形的光学布置和方法技术

本发明专利技术涉及一种用于光显微镜的光束成形的光学布置，该光学布置包括：第一液晶区域和第二液晶区域或微抬升反射镜区域(35A，35B)，各自具有可独立于彼此切换的多个液晶元件或反射镜，通过该多个液晶元件或反射镜，入射光的相位以可调整的方式改变；耦合/解耦合偏振分束器(10)；偏振分束器(20)，该偏振分束器布置在所述耦合/解耦合偏振分束器(10)和所述液晶区域或微抬升反射镜区域(35A，35B)之间，使得所述偏振分束器(20)偏振相关地将来自所述耦合/解耦合偏振分束器(10)的光(1)分成第一子束(1A)和第二子束(1B)，所述第一子束被引导到所述第一液晶区域或微抬升反射镜区域(35A)，以及所述第二子束(1B)被引导到所述第二液晶区域或微抬升反射镜区域(35B)；以及使得所述偏振分束器(20)将从所述液晶区域或微抬升反射镜区域(35A，35B)返回的两个子束(1A，1B)组合，并且将所述束一起引导到所述耦合/解耦合偏振分束器(10)作为出射光束(2)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于光显微镜的光束成形的光学布置和方法在第一方面，本专利技术涉及一种根据权利要求1的前序部分的用于光显微镜的光束成形的光学布置。在第二方面，本专利技术涉及一种根据权利要求12的前序部分的用于光显微镜的光束成形的方法。对于束成形，特别是使用空间光调制器(SLM)，其可改变地设置光束的相位或振幅，以及因此改变强度。例如，可以使用SLM将高斯激光束转换为贝塞尔束。为此，通过在束横截面之上不同地相移来修改激光束的波前。对于照明光和检测光二者都可以需要光束成形。用于光显微镜的光束成形的通用类型的光学布置包括第一液晶区域或抬升微反射镜区域，该第一液晶区域或抬升微反射镜区域包括独立于彼此可切换的多个液晶元件或反射镜，并且通过其入射光的相位以可设置的方式是可改变的。用于光显微镜的光束成形的对应的通用方法包括借助于液晶或抬升微反射镜矩阵的光的相位调制，该液晶或抬升微反射镜矩阵具有多个可独立切换的液晶元件或反射镜。抬升微反射镜区域包括多个反射镜，该反射镜可以在其抬升中(即，在垂直于反射镜表面的方向上)独立于彼此地进行调整。这改变了入射光遍历的路径长度，并且因此改变光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于光显微镜的光束成形的光学布置，包括/n-第一液晶区域或抬升微反射镜区域(35A)，具有多个可独立调整的液晶元件或反射镜，通过其入射光的相位以可设置的方式是可改变的；/n其特征在于，/n-第二液晶区域或抬升微反射镜区域(35B)，具有多个可独立调整的液晶元件或反射镜，通过其入射光的相位以可设置的方式是可改变的；/n-输入/输出耦合偏振分束器(10)，以将指定偏振方向的入射光(1)在所述液晶区域或抬升微反射镜区域(35A，35B)的方向上指引；/n-偏振分束器(20)，布置在所述输入/输出耦合偏振分束器(10)和所述液晶区域或抬升微反射镜区域(35A，35B)之间，/n-使得所述偏振分...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180426 DE 102018110109.01.一种用于光显微镜的光束成形的光学布置，包括
-第一液晶区域或抬升微反射镜区域(35A)，具有多个可独立调整的液晶元件或反射镜，通过其入射光的相位以可设置的方式是可改变的；
其特征在于，
-第二液晶区域或抬升微反射镜区域(35B)，具有多个可独立调整的液晶元件或反射镜，通过其入射光的相位以可设置的方式是可改变的；
-输入/输出耦合偏振分束器(10)，以将指定偏振方向的入射光(1)在所述液晶区域或抬升微反射镜区域(35A，35B)的方向上指引；
-偏振分束器(20)，布置在所述输入/输出耦合偏振分束器(10)和所述液晶区域或抬升微反射镜区域(35A，35B)之间，
-使得所述偏振分束器(20)取决于所述偏振将来自所述输入/输出耦合偏振分束器(10)的光(1)分成第一部分束(1A)和第二部分束(1B)，所述第一部分束被指引到所述第一液晶区域或抬升微反射镜区域(35A)，以及所述第二部分束(1B)被指引到所述第二液晶区域或抬升微反射镜区域(35B)；以及
-使得所述偏振分束器(20)将从所述液晶区域或抬升微反射镜区域(35A，35B)返回的两个部分束(1A，1B)组合，并且将它们一起指引到所述输入/输出耦合偏振分束器(10)作为出射光束(2)。


2.如权利要求1所述的光学布置，
其特征在于，
所述第一液晶区域和第二液晶区域或抬升微反射镜区域(35A，35B)是相同液晶矩阵或抬升微反射镜矩阵(35)的区域；以及
偏振旋转器(23)布置在所述偏振分束器(20)与所述第一液晶区域或抬升微反射镜区域(35A)之间或者布置在所述偏振分束器(20)与所述第二液晶区域或抬升微反射镜区域(35B)之间。


3.如权利要求1或2所述的光学布置，
其特征在于，
透明延迟元件(22)布置在所述偏振分束器(20)与所述第一液晶区域或抬升微反射镜区域(35A)之间或者布置在所述偏振分束器(20)与所述第二液晶区域或抬升微反射镜区域(35)之间；以及
延迟元件(22)被设计为使得从所述偏振分束器(20)到所述第一液晶区域或抬升微反射镜区域(35A)的光路长度等于从所述偏振分束器(20)到所述第二液晶区域或抬升微反射镜区域(35B)的光路长度。


4.如权利要求1至3中任一项所述的光学布置，
其特征在于，
从所述偏振分束器(20)到所述第一液晶区域或抬升微反射镜区域(35A)的束路径被设计为使得所述第一部分束(1A)垂直地入射在所述第一液晶区域或抬升微反射镜区域(35A)上，并且沿着相同路径行进回到所述偏振分束器(20)；
从所述偏振分束器(20)到所述第二液晶区域或抬升微反射镜区域(35B)的束路径被设计为使得所述第二部分束(1B)垂直地入射在所述第二液晶区域或抬升微反射镜区域(35B)上，并且沿着相同路径行进回到所述偏振分束器(20)。


5.如权利要求1至4中任一项所述的光学布置，
其特征在于，
所述偏振分束器(20)被设计为使得所述第一部分束和第二部分束(1A，1B)平行于彼此地朝向所述液晶区域或抬升微反射镜区域(35A，35B)行进。


6.如权利要求4或5所述的光学布置，
其特征在于，
以下部件中的至少两个，特别是所有部件直接接触：所述偏振分束器(20)、所述偏振旋转器(23)、所述液晶矩阵或抬升微反射镜矩阵(35)、以及可选的所述延迟元件(22)。


7...

【专利技术属性】
技术研发人员：J西本摩根，I克莱普，R内茨，
申请(专利权)人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE