数据取得装置制造方法及图纸

技术编号:26695211 阅读:56 留言:0更新日期:2020-12-12 02:54
提供能够以高准确度计算折射率的数据取得装置。数据取得装置具备光源、第1分束器、规定的分束器、第1光偏转元件、第2光偏转元件、第1测定单元、第2测定单元、第2分束器以及光检测器,在第1分束器中,通过光学膜,从入射的光生成沿第1方向行进的光和沿第2方向行进的光,第2测定光路位于第1方向上,参照光路位于第2方向上,规定的分束器配置于第2测定光路或者配置于参照光路,第1测定光路位于规定的分束器与光检测器之间,在第1测定光路中配置有第1光偏转元件和第1测定单元,在第2测定光路中配置有第2光偏转元件和第2测定单元,第1测定光路与第2测定光路交叉。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】数据取得装置
本专利技术涉及数据取得装置,尤其是涉及取得用于计算折射率的数据的装置。
技术介绍
在非专利文献1和专利文献1中公开了以高分辨率取得微小物体的像的装置。在非专利文献1中,装置具有参照光路和信号光路。在参照光路中配置有透镜。在信号光路中配置有2个物镜。2个物镜隔着标本而配置。在信号光路中配置有旋转镜。通过旋转镜,使向标本照射的光的角度变化。透射了标本的光与参照光路的光一起被光检测器检测。由透射了标本的光和参照光路的光形成全息图。在透射了标本的光中包括在标本产生的散射光。因此,在全息图中也包括散射光的信息。使用该全息图,计算标本中的折射率的三维分布。在专利文献1中,装置具有2个光路。在一方的光路中配置有针孔和透镜。在另一方的光路中配置有聚光透镜和物镜。聚光透镜与物镜隔着标本而配置。在信号光路中配置有楔形棱镜。通过楔形棱镜的旋转,使向标本照射的光的角度变化。在专利文献1中,公开了一种提高微小物体的像的分辨率的方法。所公开的方法包括对被微小物体散射后的波动场进行测定的步骤。通过相干传递函数对测定出的波动场进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种数据取得装置,其特征在于,/n所述数据取得装置具备光源、第1分束器、规定的分束器、第1光偏转元件、第2光偏转元件、第1测定单元、第2测定单元、第2分束器以及光检测器,/n第1测定光路、第2测定光路以及参照光路位于所述光源与所述光检测器之间,/n所述第1分束器、所述规定的分束器以及所述第2分束器分别具有形成了光学膜的光学面,/n在所述第1分束器中,通过所述光学膜,从入射的光生成沿第1方向行进的光和沿第2方向行进的光,/n所述第2测定光路位于所述第1方向上,/n所述参照光路位于所述第2方向上,/n所述规定的分束器配置于所述第2测定光路或者配置于所述参照光路,/n所述第1测定光路位于所述规定...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种数据取得装置,其特征在于,
所述数据取得装置具备光源、第1分束器、规定的分束器、第1光偏转元件、第2光偏转元件、第1测定单元、第2测定单元、第2分束器以及光检测器,
第1测定光路、第2测定光路以及参照光路位于所述光源与所述光检测器之间,
所述第1分束器、所述规定的分束器以及所述第2分束器分别具有形成了光学膜的光学面,
在所述第1分束器中,通过所述光学膜,从入射的光生成沿第1方向行进的光和沿第2方向行进的光,
所述第2测定光路位于所述第1方向上,
所述参照光路位于所述第2方向上,
所述规定的分束器配置于所述第2测定光路或者配置于所述参照光路,
所述第1测定光路位于所述规定的分束器与所述光检测器之间,
在所述第1测定光路中配置有所述第1光偏转元件和所述第1测定单元,
在所述第2测定光路中配置有所述第2光偏转元件和所述第2测定单元,
所述第1测定光路与所述第2测定光路交叉。


2.一种数据取得装置,其特征在于,
所述规定的分束器配置于所述第2测定光路,
所述第1测定光路位于所述规定的分束器的反射侧,
所述第2测定光路位于所述规定的分束器的透射侧。


3.一种数据取得装置,其特征在于,
所述规定的分束器配置于所述参照光路,
所述第1光偏转元件具有所述规定的分束器,
所述参照光路位于所述规定的分束器的透射侧,
所述第1测定光路位于所述规定的分束器的反射侧。


4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的数据取得装置,其特征在于,
所述第1光偏转元件的光学面与所述第2光偏转元件的光学面分别和所述第1测定光路与所述第2测定光路的交点共轭,
所述第1光偏转元件和所述第2光偏转元件分别是检流计扫描仪。


5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的数据取得装置,其特征在于,
所述数据取得装置具有第3光偏转元件和第4光偏转元件,
所述第3光偏转元件配置在所述第1测定单元与所述光检测器之间,
所述第4光偏转元件配置在所述第2测定单元与所述光检测器之间,
所述第3光偏转元件的光学面与所述第4光偏转元件的光学面分别和所述第1测定光路与所述第2测定光路的交点共轭,
所述第3光偏转元件和所述第4光偏转元件分别是检流计扫描仪。


6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的数据取得装置,其特征在于,
所述第1测定光路和所述第2测定光路分别相对于所述参照光路平行地位于所述第2分束器至所述光检测器之间。

【专利技术属性】
技术研发人员:大平真由美铃木良政
申请(专利权)人:奥林巴斯株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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