一种具有温度补偿特性的高性能声表面波滤波器及制作方法技术

本发明专利技术属于滤波领域的换能装置，具体是一种具有温度补偿特性的高性能声表面波滤波器及制作方法。包括封装外壳，所述的封装外壳内部设有粘连芯片的基座，基座上侧固定有芯片，所述的芯片以压电基片为衬底，压电基片下侧设置有用于与基座固定的粘结层，压电基片上设置层状金属叉指换能器，层状金属叉指换能器上制备有温度补偿薄膜，所述的层状金属叉指换能器为若干个单端谐振器组成梯形结构的双端器件，所述的封装外壳的外部引脚通过金线和芯片上预留的信号引出部分形成电气连接，所述的芯片和封装壳体之间设置有用于密封的惰性气体。

【技术实现步骤摘要】
一种具有温度补偿特性的高性能声表面波滤波器及制作方法
本专利技术属于滤波领域的换能装置，具体是一种具有温度补偿特性的高性能声表面波滤波器及制作方法。
技术介绍
滤波器是对波进行过滤的器件。“波”是一个非常广泛的物理概念，在电子
，“波”被狭义地局限于特指描述各种物理量的取值随时间起伏变化的过程。而滤波器，则是根据电路参数对电路频带宽度的影响而设计出来的工程应用电路。声表面波（SAW）是一种沿物体表面传播的弹性波，作为上世纪才发展起来的新兴学科，其结合了超声学和电子学。由于可以用制造半导体的光刻技术大批量生产质量很好的声表面波芯片，各种声表面波器件很快推出并投入实际应用。用声表面波去模拟电子学的各种功能，可使声表面波器件实现小型化和多功能，从而在雷达、通信、导航、识别和电子战等领域获得了广泛的应用。声表面波滤波器从最初应用于电视的中频滤波器，逐渐发展应用到军事领域的雷达系统，并在通信系统的发展下，逐渐的展现其优势，成为射频系统中不可缺少的部件。声表面波滤波器技术现在已经应用于各种无线通讯系统和全球卫星定位系统等设备中的接收器，替代原本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有温度补偿特性的高性能声表面波滤波器，其特征在于：包括封装外壳（1），所述的封装外壳（1）内部设有粘连芯片（3）的基座（4），基座（4）上侧固定有芯片（3），所述的芯片（3）以压电基片（33）为衬底，压电基片（33）下侧设置有用于与基座（4）固定的粘结层（34），压电基片（33）上设置层状金属叉指换能器（32），层状金属叉指换能器（32）上制备有温度补偿薄膜（31），所述的层状金属叉指换能器（32）为若干个单端谐振器组成梯形结构的双端器件，所述的封装外壳（1）的外部引脚（9）通过金线（2）和芯片（3）上预留的信号引出部分形成电气连接，所述的芯片（3）和封装壳体（1）之间设置有用于密封...

【技术特征摘要】
1.一种具有温度补偿特性的高性能声表面波滤波器，其特征在于：包括封装外壳（1），所述的封装外壳（1）内部设有粘连芯片（3）的基座（4），基座（4）上侧固定有芯片（3），所述的芯片（3）以压电基片（33）为衬底，压电基片（33）下侧设置有用于与基座（4）固定的粘结层（34），压电基片（33）上设置层状金属叉指换能器（32），层状金属叉指换能器（32）上制备有温度补偿薄膜（31），所述的层状金属叉指换能器（32）为若干个单端谐振器组成梯形结构的双端器件，所述的封装外壳（1）的外部引脚（9）通过金线（2）和芯片（3）上预留的信号引出部分形成电气连接，所述的芯片（3）和封装壳体（1）之间设置有用于密封的惰性气体。


2.根据权利要求1所述的具有温度补偿特性的高性能声表面波滤波器，其特征在于：所述的单端谐振器包括中间的金属换能器（51）以及两侧的反射栅（52），金属换能器（51）上设置有两个电极引出部分（53），其间隔为半波长的奇数倍。


3.根据权利要求2所述的具有温度补偿特性的高性能声表面波滤波器，其特征在于：所述的梯形结构包括七组单端谐振器，其中四组单端谐振器为串联形式连接，相邻两组串联的单端谐振器之间并联有一组单...

【专利技术属性】
技术研发人员：王红亮，王璐瑶，张汉强，何常德，赵利辉，洪应平，孙晓磊，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：山西;14