【技术实现步骤摘要】
本专利技术的实施例大体涉及诸如用于平板显示器处理设备(例如，LCD、OLED、以及其他类型的平板显示器)、半导体晶元处理、及太阳电池板处理等的设备及方法的衬底处理设备及方法。
技术介绍
平板显示器工业一直以来都试图使用喷墨打印以制造显示装置，具体而言，制造玻璃或其他衬底上的彩色过滤器。现有设备及方法的实施例包括在可能不完善的运动衬底上精确并准确地喷射墨水或其他材料同时保持较高的生产率。因此，采用了各种方法及设备以有效并可靠地实现墨水在不完善衬底上的精确沉积。
技术实现思路
一方面，本专利技术提供了一种设备，其包括1)至少一个打印头，其适于将墨水沉积在衬底的顶表面上，其中所述衬底相对于所述打印头运动；2)至少一个传感器，其适于检测从所述衬底的所述顶表面到所述至少一个传感器的间距；及3)控制器，其适于基于从所述传感器到所述衬底的所述顶表面的所述间距来确定衬底到喷嘴间距，并适于基于所述衬底到喷嘴间距来调整沉积在所述衬底上的墨水的轨迹。另一方面，本专利技术提供了一种设备，其包括至少一个打印头，其适于将墨水沉积在衬底的顶表面上，其中所述衬底相对于所述打印头运动；至少一个传感...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：伊曼纽尔·比尔，林正宗，栗田伸一，上泉元，本杰明·约翰斯通，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。