位置检测装置制造方法及图纸

位置检测装置具备产生检测对象磁场的磁铁、和磁传感器。磁传感器对检测对象磁场进行检测，从而生成与磁铁的位置对应的检测值。磁传感器包含MR元件和基板。基板包含主面。MR元件接受的检测对象磁场具有在第一平面内变化的第一方向。MR元件含有具有方向可在与主面平行的第二平面内变化的第一磁化的磁性层。第一平面和第二平面形成90°之外的二面角而交叉。检测值依存于第一磁化的方向。

【技术实现步骤摘要】
位置检测装置
本专利技术涉及一种使用了磁传感器的位置检测装置。
技术介绍
近年来，使用了磁传感器的的位置检测装置在各种用途中被利用。以下，将使用了磁传感器的位置检测装置称为磁式位置检测装置。磁式位置检测装置例如在内置于手机的具备光学式抖动修正机构或自动对焦机构的相机模块中，被用于检测透镜的位置。磁式位置检测装置例如具备与对象物的移动连动地移动的磁铁、和检测该磁铁产生的磁场的磁传感器。作为磁传感器，已知有使用了设置于基板上的自旋阀型的磁阻效应元件的磁传感器。自旋阀型的磁阻效应元件具有：磁化固定层，其具有方向被固定的磁化；自由层，其具有方向可根据施加磁场的方向变化的磁化；间隙层，其配置于磁化固定层和自由层之间。设置于基板上的自旋阀型的磁阻效应元件经常构成为相对于与基板的面平行的方向的磁场具有灵敏度。因此，这种磁阻效应元件适于检测方向在平行于基板的面的平面内变化的磁场。在磁式位置检测装置中有时构成为通过设置于基板上的磁阻效应元件检测包含垂直于基板的面的方向的分量的磁场。这种例子记载于中国专利申请公开第104764470A号说明书，日本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种位置检测装置，其特征在于，/n所述位置检测装置具备磁场发生器和磁传感器，所述磁场发生器产生检测对象磁场，/n所述磁传感器检测所述检测对象磁场并生成检测值，所述检测值与所述磁场发生器相对于所述磁传感器的相对的位置对应，/n所述磁传感器包含磁阻效应元件和支承所述磁阻效应元件的基板，/n所述基板含有由平面构成的主面，/n所述磁阻效应元件接受的所述检测对象磁场在第一平面内具有第一方向，/n所述磁场发生器和所述磁传感器构成为：在所述磁场发生器相对于所述磁传感器的相对的位置变化时，所述第一方向在所述第一平面内在规定的可变范围内变化，/n所述磁阻效应元件包含第一磁性层，该第一磁性层具有方向能够在与所...

【技术特征摘要】
20190610 JP 2019-1081151.一种位置检测装置，其特征在于，
所述位置检测装置具备磁场发生器和磁传感器，所述磁场发生器产生检测对象磁场，
所述磁传感器检测所述检测对象磁场并生成检测值，所述检测值与所述磁场发生器相对于所述磁传感器的相对的位置对应，
所述磁传感器包含磁阻效应元件和支承所述磁阻效应元件的基板，
所述基板含有由平面构成的主面，
所述磁阻效应元件接受的所述检测对象磁场在第一平面内具有第一方向，
所述磁场发生器和所述磁传感器构成为：在所述磁场发生器相对于所述磁传感器的相对的位置变化时，所述第一方向在所述第一平面内在规定的可变范围内变化，
所述磁阻效应元件包含第一磁性层，该第一磁性层具有方向能够在与所述主面平行的第二平面内变化的第一磁化，
所述第一平面和所述第二平面形成90°之外的二面角而交叉，
所述磁阻效应元件接受的所述检测对象磁场能够分成与所述第二平面平行的面内分量和与所述第二平面垂直的垂直分量，
所述面内分量具有根据所述第一方向的变化而变化的第二方向，
所述第一磁化的方向根据所述第二方向的变化而变化，
所述检测值依存于所述第一磁化的方向。


2.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，
所述第一磁性层具有在所述第一方向处于所述可变范围内的至少一部分的范围内时，所述第一磁化因所述检测对象磁场而成为饱和状态的特性。


3.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡永福，平林启，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP