喷出图案数据修正方法及装置、液滴喷出装置、电光学装置制造方法及图纸

一种喷出图案数据修正方法，包括：计算工序，针对以矩阵状划分了工件上的图案绘制区域的多个假想分割部位，分别计算出基于图案绘制处理赋予的功能液赋予量；数据生成工序，生成分别以多灰度表现了针对多个假想分割部位的功能液赋予量的矩阵数据；灰度处理工序，通过将矩阵数据ｎ值化（ｎ≥２），生成ｎ值化矩阵数据；和数据修正工序，对喷出图案数据进行修正，以使在针对ｎ值化矩阵数据的各个ｎ值化数据表示功能液赋予量“大”侧的各个假想分割部位，减少功能液赋予量，和针对ｎ值化矩阵数据的各个ｎ值化数据表示功能液赋予量“小”侧的各个假想分割部位，增加功能液赋予量的处理中，至少进行任意一方的处理。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对用于从以喷墨头为代表的功能液滴喷出头的多个喷嘴分别选择性地对工件喷出功能液滴来进行图案绘制处理的喷出图案数据，进行修正的喷出图案数据修正方法、喷出图案数据修正装置、液滴喷出装置、电光学装置的制造方法、电光学装置以及电子设备。
技术介绍
以往，公知有一种液滴喷出装置，该液滴喷出装置根据喷出图案数据，对排列有多列着色部的彩色滤光器(工件)，从喷墨头(功能液滴喷出头)的喷墨嘴(喷嘴)喷出墨水(功能液)来进行图案绘制处理。由于墨水喷出量在多个喷墨嘴之间不均匀，所以，为了使多列着色部之间的墨水喷出量均匀化，可检测出各列着色部的色浓度，根据该色浓度来修正对各列着色部的墨水喷出密度(喷出图案数据)(例如，参照特开平10-315510号公报)。但是，在这样的喷出图案数据的修正方法中，由于多列着色部之间的墨水喷出密度相互不同，所以，将多列着色部之间的墨水喷出量控制成均匀化，反而会造成图案绘制不均匀。即，由于墨水喷出密度不同的着色部与其他的着色部连续排列成一列，所以在对彩色滤光器进行整体观察时，结果该列的着色部呈颜色不均匀的线条。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种能够通过修正喷出图案数据使观察者从工件整体不容易观察到图案绘制不均匀的喷出图案数据修正方法、喷出图案数修正装置、液滴喷出装置、电光学装置的制造方法、电光学装置以及电子设备。本专利技术的喷出图案数据修正方法，在以一边使功能液滴喷出头相对工件移动，一边根据喷出图案数据从功能液滴喷出头的多个喷嘴分别将功能液滴选择性地喷出、弹落的方式，对工件进行图案绘制处理时，为了消除图案绘制不均匀，对喷出图案数据进行修正，其特征在于，包括以下工序计算工序，针对以矩阵状划分了工件上的图案绘制区域的多个假想分割部位，分别计算出基于图案绘制处理所赋予的功能液赋予量；数据生成工序，生成分别以多灰度表现了针对多个假想分割部位的功能液赋予量的矩阵数据；灰度处理工序，通过将矩阵数据n值化，生成n值化矩阵数据；和数据修正工序，对喷出图案数据进行修正，以使在针对n值化矩阵数据的各个n值化数据表示功能液赋予量“大”侧的各个假想分割部位，减少功能液赋予量；和针对n值化矩阵数据的各个n值化数据表示功能液赋予量“小”侧的各个假想分割部位，增加功能液赋予量的处理中至少进行任意一方的处理。而且，本专利技术的喷出图案数据修正装置，在以一边使功能液滴喷出头相对工件移动，一边根据喷出图案数据从功能液滴喷出头的多个喷嘴分别将功能液滴选择性地喷出、弹落的方式对工件进行图案绘制处理时，为了消除图案绘制不均匀，对喷出图案数据进行修正，其特征在于，包括存储单元，其存储喷出图案数据；计算单元，其针对以矩阵状划分了工件上的图案绘制区域的多个假想分割部位，分别计算出基于图案绘制处理赋予的功能液赋予量；数据生成单元，其生成分别以多灰度表现了针对多个假想分割部位的功能液赋予量的矩阵数据；灰度处理单元，其通过将矩阵数据n值化，生成n值化矩阵数据；和数据修正单元，其对喷出图案数据进行修正，以使在针对n值化矩阵数据的各个n值化数据表示功能液赋予量“大”侧的各个假想分割部位，减少功能液赋予量，和针对n值化矩阵数据的各个n值化数据表示功能液赋予量“小”侧的各个假想分割部位，增加功能液赋予量的处理中至少进行任意一方的处理。根据这些结构，通过对基于针对各个假想分割部位的功能液赋予量的矩阵数据进行n值化处理，使所修正的喷出图案数据可适当地增加和/或减少针对各个假想分割部位的功能液赋予量。例如，如果以从“0”(功能液赋予量大)到“9”(功能液赋予量小)的10个等级来表现功能液赋予量，作成矩阵数据，并进行2值化处理，则在功能液赋予量多的区域中，一部分的假想分割部位的2值化数据成为“0”。而且，由于减少了针对该假想分割部位的功能液赋予量，所以，作为功能液赋予量多的区域全体被减少了功能液赋予量，由此，作为工件整体被消除了图案绘制不均匀。因此，能够将喷出图案数据修正为使观察者不容易看出工件整体的图案绘制不均匀。另外，在上述的例子中，对2值化处理进行了说明，但灰度处理不限于2值化。而且，优选根据每一次喷出的功能液喷出量的可调整量，设定n值化矩阵数据的灰度数。例如，在每一次喷出的功能液喷出量被分成大、中、小的情况下，采用3值化，或者再加上不喷出的情况而采用4值化。在上述的喷出图案数据修正方法中，优选在所述灰度处理工序中，通过采用阈值法、体系抖动法以及误差扩散法中的任意方法进行n值化处理，来生成n值化矩阵数据。根据此构成，能够利用一般且容易的数据处理，切实地进行矩阵数据的n值化处理。另外，优选进行采用误差扩散法的处理，这样，由于越是大致范围的区域越能提高外观的灰度，所以能够更难识别图案绘制的不均匀。在这些情况下，优选还包括喷出量测定工序，该工序在实施计算工序之前，测定从由与各个假想分割部位对应的1个以上的喷嘴构成的喷嘴组喷出的每单位喷出次数的功能液喷出量，在计算工序中，根据功能液喷出量的测定结果和喷出图案数据，计算出功能液赋予量。根据此构成，通过使功能液滴喷出头喷出检测用功能液滴，来测定功能液喷出量，无须进行图案绘制处理即可生成矩阵数据。因此，能够从第1个工件开始切实地进行图案绘制处理。另外，优选通过进行功能液滴的重量测定、功能液滴的飞行速度的测定、飞行中的功能液滴的大小的测定、弹落的功能液滴的弹落直径的测定等，来测定功能液喷出量。而且，在这些情况下，优选还包括光学浓度测定工序，该工序在实施计算工序之前，测定通过图案绘制处理形成在工件上的功能液的成膜部在各个假想分割部位中的光学浓度，在计算工序中，根据光学浓度的测定结果计算出功能液赋予量。根据此构成，基于形成在工件上的成膜部的光学浓度的测定结果，计算出功能液赋予量。因此，可根据实际的图案绘制结果，切实地生成矩阵数据。另外，优选通过进行透射率测定、吸光度测定、反射率测定等来测定成膜部的光学浓度。而且，在这些情况下，优选还包括膜厚测定工序，该工序在实施计算工序之前，测定通过图案绘制处理形成在工件上的功能液的成膜部在各个假想分割部位中的膜厚，在计算工序中，根据膜厚的测定结果计算出功能液赋予量。根据此构成，基于形成在工件上的成膜部的厚度的测定结果，计算出功能液赋予量。因此，可根据实际的图案绘制结果切实地生成矩阵数据。另外，作为成膜部的膜厚测定，优选采用光干涉法、触针法等进行测定。在这些情况下，优选数据修正工序对喷出图案数据进行修正，以使通过各个喷嘴的喷出次数的增减和/或每1次喷出的功能液喷出量的增减，来增减功能液赋予量。根据此构成，通过进行增减各个喷嘴的喷出次数、或者增减每一次喷出的功能液喷出量等简易的控制，可增减针对各个假想分割部位的功能液赋予量。本专利技术的液滴喷出装置具有功能液滴喷出头；使功能液滴喷出头相对工件进行相对移动的移动单元；和头控制单元，其根据采用上述的喷出图案数据修正方法所修正的喷出图案数据，控制功能液滴喷出头的各个喷嘴。根据该结构，利用被修正为观察者不容易看出工件全体的图案绘制不均匀的喷出图案数据进行图案绘制处理。因此，可提供使观察者不容易看出图案绘制不均匀的工件。本专利技术的电光学装置的制造方法的特征是，使用上述的液滴喷出装置在工件上形成基于功能液的成膜部。另外，本专利技术的电光学装置的特征是，使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷出图案数据修正方法，在以一边使功能液滴喷出头相对工件进行相对移动，一边根据喷出图案数据从所述功能液滴喷出头的多个喷嘴分别将功能液滴选择性地喷出、弹落的方式，对工件进行图案绘制处理时，为了消除图案绘制不均匀，对所述喷出图案数据进行修正，包括以下工序：计算工序，针对以矩阵状划分了所述工件上的图案绘制区域的多个假想分割部位，分别计算出基于所述图案绘制处理所赋予的功能液赋予量；数据生成工序，生成分别以多灰度表现了针对所述多个假想分割部位的功能液赋予量的矩阵数据； 灰度处理工序，通过将所述矩阵数据ｎ值化，生成ｎ值化矩阵数据，其中ｎ≥２；和数据修正工序，对所述喷出图案数据进行修正，以使在针对所述ｎ值化矩阵数据的各个ｎ值化数据表示所述功能液赋予量“大”侧的所述各个假想分割部位，减少所述功能 液赋予量，和针对所述ｎ值化矩阵数据的各个ｎ值化数据表示所述功能液赋予量“小”侧的所述各个假想分割部位，增加所述功能液赋予量的处理中，至少进行任意一方的处理。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：长江信明，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]