耦合在光波导中传播的光与衍射光栅的光学器件制造技术

本发明专利技术提供了一种耦合在光波导中传播的光与衍射光栅的光学器件。光波导传播激光束。主衍射光栅和副衍射光栅耦合在光波导中传播的光。主衍射光栅和副衍射光栅按照这样一种方式耦合光：与在只设有主衍射光栅时在光波导内传播的光的二次横模的传播相比，当同时设有主衍射光栅和副衍射光栅时在光波导内传播的光的二次横模的传播受到更大程度的抑制。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及这样一种光学器件，其中通过耦合在光波导中传播的光与衍射光栅来使所述光具有窄光谱。本专利技术还涉及这样一种光学器件，它具有提高在光波导中传播的光和衍射光栅之间的耦合系数的结构。
技术介绍
随着互联网需求的急剧增大，加强了与超高速大容量光通信和光传输相关的努力。对于具有千兆比特以上传输频带的以太网(Ethernet，注册商标)而言，已经寻找到这样一种半导体激光二极管，它廉价并且能够在非冷却状态中进行10Gb/s或更高的直接调制。能够满足这种要求的半导体激光二极管的例子包括分布反馈(DFB)激光二极管。为了用低成本制造出DFB激光二极管，脊型波导分布反馈激光二极管是有前途的，它能够通过进行一次晶体生长而制造出来，即不需要在蚀刻工艺之后进行二次晶体生长。在将用于分布反馈的衍射光栅形成在脊型波导分布反馈激光二极管上时，在脊部的两侧形成衍射光栅与在晶体中形成衍射光栅相比在制造成本方面具有更大的优点。图24为传统脊型波导DFB激光二极管的透视图。将一活性层501和一包覆层502顺序层叠在半导体衬底500上。在包覆层上形成沿着一个方向延伸的脊部503。在脊部503的两个侧面上形成有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学器件，包括：光波导，用于传播激光束；主衍射光栅，其耦合在光波导中传播的光；以及副衍射光栅，其耦合在光波导中传播的光，其中，主衍射光栅和副衍射光栅按照如下方式耦合所述光：与在只设有主衍射光栅时在光波导内传播的光的二次横模的传播相比，当同时设有主衍射光栅和副衍射光栅时在光波导内传播的光的二次横模的传播受到更大程度的抑制。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：松田学，山本刚之，
申请(专利权)人：富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]