一种PNNZT基多相共存弛豫铁电外延薄膜的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种PNNZT基多相共存弛豫铁电外延薄膜的制备方法，属于化学工程技术领域。一种PNNZT基多相共存弛豫铁电外延薄膜的制备方法，包括以下步骤：将同为钙钛矿结构的SrTiO

【技术实现步骤摘要】
一种PNNZT基多相共存弛豫铁电外延薄膜的制备方法
本专利技术涉及一种PNNZT基多相共存弛豫铁电外延薄膜的制备方法，属于化学工程

技术介绍
随着电子、信息和控制技术朝着微型化、高集成化方向的发展，以及高科技领域对于快速制冷的需求，高效率的固态制冷技术的发展已经被提上日程。作为压电材料的一类分支，铁电体材料因其具有在外加电场下的电卡特性使得其成为优秀候选材料。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种PNNZT基多相共存弛豫铁电外延薄膜的制备方法。PNNZT(Pb(Ni1/3Nb2/3)xZryTi1-x-yO3,x,y＝0～1)是一种多相共存弛豫铁电材料，本专利技术通过激光脉冲沉积法在SrTiO3和La0.7Sr0.3MnO3基底上面制备出的PNNZT多相共存弛豫铁电外延薄膜。本专利技术的目的通过如下技术方案实现：一种PNNZT基多相共存弛豫铁电外延薄膜的制备方法，包括以下步骤：1)以SrTiO3(100/111)单晶基片作为衬底，以La0.7Sr0.3MnO3为靶材，采用激光脉冲沉积法本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PNNZT基多相共存弛豫铁电外延薄膜的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：/n1)以SrTiO

【技术特征摘要】
1.一种PNNZT基多相共存弛豫铁电外延薄膜的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
1)以SrTiO3(100/111)单晶基片作为衬底，以La0.7Sr0.3MnO3为靶材，采用激光脉冲沉积法制备钙钛矿结构氧化物La0.7Sr0.3MnO3(100/111)取向的薄膜底电极；
2)采用溶胶凝胶法和固相烧结法制备PNNZT靶材，将PNNZT前驱体溶液于室温下搅拌1.5-2h，并放置24-30h，自然风干，制得凝胶；
3)将步骤2)所得凝胶干燥、煅烧、研磨、压制制得粒料，所得粒料经过烧结，自然冷却即得所需的PNNZT靶材；
4)将步骤3)制得的PNNZT靶材利用激光脉冲沉积法在La0.7Sr0.3MnO3(100/111)取向的薄膜底电极上外延制备出多相共存的弛豫铁电外延薄膜。


2.根据权利要求1所述的PNNZT基多相共存弛豫铁电外延薄膜的制备方法，其特征在于，步骤1)所述La0.7Sr0.3MnO3靶材可通过固相烧结方法制得，所述方法包括如下步骤：将原料La2O3、SrCO3、MnO2球磨所得的混合物烘干、预烧、冷压制备块体、烧结制得所需的靶材La0.7Sr0.3MnO3。


3.根据权利要求2所述的PNNZT基多相共存弛豫铁电外延薄膜的制备方法，其特征在于，步骤1)所述预烧温度为1200℃～1300℃，预烧时间为10～12小时；所述烧结温度为1350～1400℃，烧结时间为24～48小时。


4.根据权利要求1所述的PNNZT基多相共存弛豫铁电外延薄膜的制备方法，其特征在于，步骤1)所述激光脉冲沉积法采用的...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭彪林，韩飞飞，
申请(专利权)人：广西大学，
类型：发明
国别省市：广西;45