【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的领域涉及微机电系统(microelectromechanical system，MEMS)。
技术介绍
微机电系统(MEMS)包含微机械元件、激活器和电子元件。可使用沉积、蚀刻和/或其它蚀刻去除衬底和/或已沉积材料层的部分或者添加层以形成电装置和机电装置的微加工工艺来产生微机械元件。一种类型的MEMS装置称为干涉式调制器。如本文所使用，术语干涉式调制器或干涉式光调制器指的是一种使用光学干涉原理选择性地吸收且/或反射光的装置。在某些实施例中，干涉式调制器可包括一对导电板，其中之一或两者可能整体或部分透明且/或具有反射性，且能够在施加适当电信号时进行相对运动。在特定实施例中，一个板可包括沉积在衬底上的固定层，且另一个板可包括由气隙与固定层分离的金属薄膜。如本文更详细描述，一个板相对于另一个板的位置可改变干涉式调制器上的光的光学干涉。这些装置具有广范围的应用，且在此项技术中，利用且/或修改这些类型装置的特性使得其特征可被发掘用于改进现有产品和创建尚未开发的新产品，将是有益的。
技术实现思路
本专利技术的系统、方法和装置各具有若干方面，其中任何单个方面均不仅仅...
【技术保护点】
一种装置，其包括：一衬底；和一反射元件阵列，其布置在所述衬底上以形成在至少一个波长带中镜面地且干涉式地反射光的一镜面表面的至少一部分，其中所述元件中的一者或一者以上经配置以可选择地反射。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：布莱恩J加利，威廉J卡明斯，
申请(专利权)人：IDC公司，
类型：发明
国别省市：US[]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。