【技术实现步骤摘要】
晶棒接着后接着力测量设备
本技术涉及单晶硅生产设备
，尤其涉及一种晶棒接着后接着力测量设备。
技术介绍
晶圆在切片之前要对晶棒的晶向进行校准，校准完成后再使用接着剂将树脂条，晶棒，工件板粘接到一起，在接着后，需要保证接着剂的结合力达到要求，确保对接着后晶棒进行切片过程中不出现掉棒，如果出现掉棒，高速运转的钢线会给晶棒一个较大的动量，掉落的晶棒会砸坏设备，使设备的精度降低，同时也可能造成操作人员受伤。所以接着后晶棒与树脂板和工件板之间的结合力必须要进行测量，避免出现以上现象发生。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种晶棒接着后接着力测量设备。一种晶棒接着后接着力测量设备，包括支撑装置、夹持装置、测量装置、牵引绳，支撑装置包括工作台、立柱、横梁、定位件，定位件固定设置在工作台的台面上，立柱对向垂直固定在工作台的两侧，立柱的上部开设有穿绳孔，立柱上部的外侧表面固定设置有侧部引导滑轮，横梁水平固定设置在两个对向设置的立柱之间，横梁位于两个立柱的上部，横梁底部中间位置固定设置有上部引导滑轮，并且上部...
【技术保护点】
1.一种晶棒接着后接着力测量设备，其特征在于：包括支撑装置、夹持装置、测量装置、牵引绳，支撑装置包括工作台、立柱、横梁、定位件，定位件固定设置在工作台的台面上，立柱对向垂直固定在工作台的两侧，立柱的上部开设有穿绳孔，立柱上部的外侧表面固定设置有侧部引导滑轮，横梁水平固定设置在两个对向设置的立柱之间，横梁位于两个立柱的上部，横梁底部中间位置固定设置有上部引导滑轮，并且上部引导滑轮正对工作台上的定位件，夹持装置设置在工作台的上方，并位于上部引导滑轮的正下方，以将粘结后的晶棒牢固夹持，测量装置设置在支撑装置的一侧，牵引绳的一端与测量装置固定连接，牵引绳的另一端依次穿过侧部引导滑轮...
【技术特征摘要】
1.一种晶棒接着后接着力测量设备，其特征在于：包括支撑装置、夹持装置、测量装置、牵引绳，支撑装置包括工作台、立柱、横梁、定位件，定位件固定设置在工作台的台面上，立柱对向垂直固定在工作台的两侧，立柱的上部开设有穿绳孔，立柱上部的外侧表面固定设置有侧部引导滑轮，横梁水平固定设置在两个对向设置的立柱之间，横梁位于两个立柱的上部，横梁底部中间位置固定设置有上部引导滑轮，并且上部引导滑轮正对工作台上的定位件，夹持装置设置在工作台的上方，并位于上部引导滑轮的正下方，以将粘结后的晶棒牢固夹持，测量装置设置在支撑装置的一侧，牵引绳的一端与测量装置固定连接，牵引绳的另一端依次穿过侧部引导滑轮、穿绳孔、上部引导滑轮，并与夹持装置的顶部固定连接，从而将夹持装置吊起悬空在定位件的正上方，利用测量装置的牵拉作用，对晶棒接着后的接着力进行测量。
2.根据权利要求1所述的晶棒接着后接着力测量设备，其特征在于：所述夹持装置包括可调节夹持机构、固定连接板、牵拉连接件，固定连接板位于定位件的上部，可调节夹持结构安装在固定连接板的下部表面，并且可调节夹持结构能够沿固定连接板的下部表面相对滑动，牵拉连接件固定设置在固定连接板的上部表面，牵拉连接件的顶部与牵引绳固定连接。
3.根据权利要求2所述的晶棒接着后接着力测量设备，其特征在于：所述可调节夹持机构包括夹持爪部件、进给部件，夹持爪部件的顶部与固定连接板的下部表面相连接，并且夹持爪部件的顶部能够沿固定连接板的下部表面相对滑动，进给部件穿过夹持爪部件的上部，并与夹持爪部件丝杠连接。
4.根据权利要求3所述的晶棒接着后接着力测量设备，其特征在于：所述夹持爪部件包括左部夹持爪、右部夹持爪，左部夹持爪、右部夹持爪对向安装在固定连接板的下部，右部夹持爪的上部依次等距安装有两个固定块，两个固定块的下部与右部夹持爪可拆卸连接，两个固定块的顶部与固定连接板的下部表面固定连接，左部夹持爪的上部依次等距安装有两个滑动块，两个滑动块的下部与左部夹持爪可拆卸连接，两个滑动块的顶部与固定连接板的下部表面滑动连接。
5.根据权利要求3所述的晶棒接着后接着力测量设备，其特征在于：所述进...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵延祥，刘波，程博，历莉，马玉怀，
申请(专利权)人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。