【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于一种高折射率光学薄膜用LaTiO:,蒸发材料及其制备方法和用途。
技术介绍
高折射率光学薄膜材料被广泛应用于各种光学膜系的设计中,它们主 要用来与低折射率材料或者与中折射率、低折射率材料配合使用制备各种 减反膜,这些薄膜主要用在光学仪器的透镜、棱镜、反光镜等。目前广泛 使用的高折射率材料主要有各种钛、锆、铪、钽、铌的氧化物以及它们的混合材料。为了进一步拓宽材料的选择范围,满足光学膜系设计要求,各种混合 膜料被开发出来并被广泛应用在光学薄膜镀制中。混合膜料在薄膜中的应 用不仅可得到所需的折射率,而且还可改善膜层的特性和材料的蒸发特性。 如氧化锆钽混合膜料的折射率比氧化锆高,克服了氧化锆折射率随着膜层 厚度增加而下降的不足,其膜层更致密牢固。在氧化锆中加入氧化钇也可 抑制薄膜折射率的非均匀性,提高膜层的致密度和膜面的光洁度,在氧化 钛中加入氧化锆、氧化钽、氧化铌等化合物可促进氧化钛在蒸发时的氧化, 减少膜层吸收。在Ti02中加入LaA、 P』n等制成的混合膜料,该材料可在 基片不加温时进行蒸镀,适用于树脂镜片的镀膜。近几年来,树脂镜片由于其重量轻、强度 ...
【技术保护点】
高折射率光学薄膜用蒸发材料,其特征在于,该材料是一种化学式为LaTiO↓[3]的化合物,该材料为单一相结构组成,不存在其它杂相,该材料密度为5.2~5.9g/cm↑[3],材料充填性好。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张碧田,潘德明,王星明,段华英,储茂友,邓世斌,孙静,张明贤,龚述荣,
申请(专利权)人:北京有色金属研究总院,
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]
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