高折射率光学薄膜用LaTiO*蒸发材料及其制备方法和用途技术

技术编号:2665273 阅读:494 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种高折射率光学薄膜用蒸发材料,是一种化学式为LaTiO↓[3]的化合物。该材料为单一相结构组成,不存在其它杂相。该材料密度为5.2~5.9g/cm↑[3],材料充填性好。以Ti↓[2]O↓[3]和La↓[2]O↓[3];或者TiO↓[2]、La↓[2]O↓[3]和Ti为原料,在高温和真空状态下进行固相反应,生成LaTiO↓[3]。该LaTiO↓[3]蒸发材料用于制备高折射率光学膜层,该膜层为性能优异的硬介质膜层。所述的高折射率光学膜层为树脂镜片的镀膜、分色棱镜或宽带的增透膜。在制备高折射率光学薄膜的方法中,在蒸发过程中LaTiO↓[3]蒸发材料组成保持不变,坩埚中LaTiO↓[3]蒸发材料不用更新而保持所制备薄膜的折射率稳定。并且经一次熔化后,可以进行多次蒸发,制备多个高折射率光学薄膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于一种高折射率光学薄膜用LaTiO:,蒸发材料及其制备方法和用途。
技术介绍
高折射率光学薄膜材料被广泛应用于各种光学膜系的设计中,它们主 要用来与低折射率材料或者与中折射率、低折射率材料配合使用制备各种 减反膜,这些薄膜主要用在光学仪器的透镜、棱镜、反光镜等。目前广泛 使用的高折射率材料主要有各种钛、锆、铪、钽、铌的氧化物以及它们的混合材料。为了进一步拓宽材料的选择范围,满足光学膜系设计要求,各种混合 膜料被开发出来并被广泛应用在光学薄膜镀制中。混合膜料在薄膜中的应 用不仅可得到所需的折射率,而且还可改善膜层的特性和材料的蒸发特性。 如氧化锆钽混合膜料的折射率比氧化锆高,克服了氧化锆折射率随着膜层 厚度增加而下降的不足,其膜层更致密牢固。在氧化锆中加入氧化钇也可 抑制薄膜折射率的非均匀性,提高膜层的致密度和膜面的光洁度,在氧化 钛中加入氧化锆、氧化钽、氧化铌等化合物可促进氧化钛在蒸发时的氧化, 减少膜层吸收。在Ti02中加入LaA、 P』n等制成的混合膜料,该材料可在 基片不加温时进行蒸镀,适用于树脂镜片的镀膜。近几年来,树脂镜片由于其重量轻、强度高、透光性好,在光学本文档来自技高网...

【技术保护点】
高折射率光学薄膜用蒸发材料,其特征在于,该材料是一种化学式为LaTiO↓[3]的化合物,该材料为单一相结构组成,不存在其它杂相,该材料密度为5.2~5.9g/cm↑[3],材料充填性好。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张碧田潘德明王星明段华英储茂友邓世斌孙静张明贤龚述荣
申请(专利权)人:北京有色金属研究总院
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1