光学元件、光学系统和图像拾取装置制造方法及图纸

本公开涉及光学元件、光学系统和图像拾取装置。光学元件包括基板和被提供在基板上的多层膜。多层膜对于以0°的入射角入射的具有470nm至630nm的波长的光具有75％以上的平均透射率，以及对于以0°的入射角入射的具有1550nm的波长的光具有10％以下的透射率。多层膜包括交替层叠的由第一材料制成的层和由第二材料制成的层，以及设置在最外侧的由第三材料制成的最终层，并且满足预定条件。

【技术实现步骤摘要】
光学元件、光学系统和图像拾取装置
本专利技术涉及光学元件、光学系统和图像拾取装置。
技术介绍
LiDAR(光检测和测距)是一种用于测量照射的激光束撞击物体并从物体返回的时间以及用于测量到物体的距离和方向的技术。为了观察远处的物体，有必要增加激光束的强度，但是增强的激光束会损害人的视网膜。另一方面，具有1550nm的波长的激光束被水吸收，因此，如果有的话，撞击人的眼球的激光束会被眼球中的水吸收并且不会到达视网膜。因此，近年来，具有1550nm的波长的激光束已越来越多地被用于LiDAR。数字相机使用对包括可见范围的从200nm至1100nm的波长具有灵敏度的图像传感器。可以在图像传感器的前表面上设置截止(cut)具有420nm以下的波长的紫外波段和具有680nm以上的波长的红外波段中的光的光学元件，以便使该灵敏度等于人眼的灵敏度。日本专利特许公开No.(“JP”)2019-28421公开了一种滤光器，该滤光器对从425nm至620nm的波长具有80％以上的平均透射率，以及对从700nm至1200nm的波长具有12.5％以下的最大透射本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学元件，包括：/n基板；以及/n多层膜，所述多层膜被提供在基板上，/n其中所述多层膜对于以0°的入射角入射的具有470nm至630nm的波长的光具有75％以上的平均透射率，以及对于以0°的入射角入射的具有1550nm的波长的光具有10％以下的透射率，/n其特征在于，所述多层膜包括交替层叠的由第一材料制成的层和由第二材料制成的层，以及设置在最外侧的由第三材料制成的最终层，以及/n其中满足以下条件表达式：/n1.35≤n

【技术特征摘要】
20190607 JP 2019-1072421.一种光学元件，包括：
基板；以及
多层膜，所述多层膜被提供在基板上，
其中所述多层膜对于以0°的入射角入射的具有470nm至630nm的波长的光具有75％以上的平均透射率，以及对于以0°的入射角入射的具有1550nm的波长的光具有10％以下的透射率，
其特征在于，所述多层膜包括交替层叠的由第一材料制成的层和由第二材料制成的层，以及设置在最外侧的由第三材料制成的最终层，以及
其中满足以下条件表达式：
1.35≤nm≤1.80
1.90≤nh≤2.50
1.15≤nl≤1.50
其中nm是第一材料的折射率，nh是第二材料的折射率，以及nl是第三材料的折射率。


2.如权利要求1所述的光学元件，其特征在于，所述多层膜对于以0°的入射角入射的具有420nm至680nm的波长的光的平均透射率为80％以上。


3.如权利要求1所述的光学元件，其特征在于，所述多层膜在470nm至630nm的波长处的最大反射率与最小反射率之间的差异在8％以内。


4.如权利要求1所述的光学元件，其特征在于，所述多层膜具有其中透射率在700nm至1000nm的波长处为10％以下的波段。


5.如权利要求1所述的光学元件，其特征在于，所述多层膜具有14层至81层，包括14层和81层。


6.如权利要求1所述的光学元件，其特征在于，存在...

【专利技术属性】
技术研发人员：内田和枝，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP