光分束器和光投射器制造技术

本申请提供一种光分束器，用于将单束光分束为3×3的多束光，该光分束器包括衬底以及设置在所述衬底上的阵列式分布的多个微结构，该微结构呈中间细、两头宽的骨头状，且满足以下条件中的至少一个：0.772≤A/P1≤1.145、0.811≤B/P2≤1.180、以及61.2°≤

【技术实现步骤摘要】
光分束器和光投射器
本申请实施例涉及光学领域，并且更具体地，涉及一种光分束器和光投射器。
技术介绍
基于飞行时间（TimeofFlight，ToF）技术常用于深度检测或者三维检测中，通过测量发射光信号经被测物体反射回来到达接收端的飞行时间，计算被测物体的距离。光分束器是用于深度检测或者三维检测光的发射模组中的核心器件，为此，需要寻找高性能的光分束器。
技术实现思路
本申请实施例提供一种光分束器和采用该光分束器的光投射器，能够提供一种3×3光分束器。其中，该光投射器例如可以作为深度检测装置或三维检测装置中的光发射模组。第一方面，提供了一种光分束器，用于将单束光分束为3×3的多束光，所述光分束器包括衬底以及设置在所述衬底上的阵列式分布的多个微结构，所述微结构呈中间细、两头宽的骨头状。所述微结构满足以下条件中的至少一个：0.772≤A/P1≤1.145、0.811≤B/P2≤1.180、以及61.2°≤θ≤82.5°。其中，A为所述微结构在第一方向上的最边缘的两个端点形成的第一对角线的长度，B为所述微结构在第二方向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光分束器，其特征在于，用于将单束光分束为3×3的多束光，所述光分束器包括衬底以及设置在所述衬底上的阵列式分布的多个微结构，所述微结构呈中间细、两头宽的骨头状，/n其中，所述微结构满足以下条件中的至少一个：0.772≤A/P1≤1.145、0.811≤B/P2≤1.180、以及61.2°≤

【技术特征摘要】
1.一种光分束器，其特征在于，用于将单束光分束为3×3的多束光，所述光分束器包括衬底以及设置在所述衬底上的阵列式分布的多个微结构，所述微结构呈中间细、两头宽的骨头状，
其中，所述微结构满足以下条件中的至少一个：0.772≤A/P1≤1.145、0.811≤B/P2≤1.180、以及61.2°≤θ≤82.5°，
其中，A为所述微结构在第一方向上的最边缘的两个端点形成的第一对角线的长度，B为所述微结构在第二方向上的最边缘的两个端点的形成的第二对角线的长度，P1为所述微结构在第一方向的分布周期，P2为所述微结构在第二方向的分布周期，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第一方向比所述第二方向靠近所述第一对角线的方向，所述第二方向比所述第一方向靠近所述第二对角线的方向，θ为所述第一对角线与所述第二对角线之间的夹角。


2.根据权利要求1所述的光分束器，其特征在于，所述微结构还满足以下条件中的至少一个：0.128≤C/X≤0.227、0.445≤D/X≤0.683、4.5°≤θA≤14.3°、68.4°≤θB≤92.4°、以及31.5°≤θD≤56.1°，
其中，C为所述微结构的中间最细位置的宽度，D为所述微结构的中间最细位置的中垂线的长度，，θA为所述第一对角线与所述第一方向之间的夹角，θB为所述第二对角线与所述第一方向之间的夹角，θD为所述微结构的中间最细位置的中垂线与所述第一方向的夹角。


3.根据权利要求2所述的光分束器，其特征在于，所述光分束器在所述第一方向和所述第二方向上的衍射角分别为15°和17.5°，P1=3.63um、P2=3.13um、A=3.41um、B=2.91um、θ=71°，C=0.87um、D=2.90um、θA=8°、θB=79°、θD=39°。

【专利技术属性】
技术研发人员：刘跃达，陈柏佑，张思超，蔡斐欣，
申请(专利权)人：深圳市汇顶科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44